[发明专利]用于可调激光器的反射镜结构和可调激光器

权利要求书

1.一种用于可调激光器的反射镜结构，其特征在于，包括：

从下至上依次堆叠的衬底层、支撑层、下包层、波导层、上包层和加热器层；

所述反射镜结构还包括超结构光栅，所述超结构光栅沿着光在所述波导层中的传播方向设置在所述上包层与所述下包层之间，所述加热器层位于所述上包层的上表面上与所述超结构光栅正对的区域；

所述支撑层包括第一子支撑层和第二子支撑层，所述第一子支撑层和所述第二子支撑层沿着光在所述波导层中的传播方向位于所述衬底层的上表面的两侧，所述衬底层、所述第一子支撑层、第二子支撑层和所述下包层之间形成沿着光在所述波导层中的传播方向延伸的空间，沿着光在所述波导层中的传播方向在所述上包层的上表面上设置有第一列开口和第二列开口，所述第一列开口和所述第二列开口分别位于所述上包层的上表面上与所述超结构光栅正对的区域的两侧，所述第一列开口和所述第二列开口分别包括多个开口，每个所述开口向下穿透所述上包层、所述波导层和所述下包层到达所述空间，所述空间上方位于所述第一列开口与所述第二列开口之间的区域形成悬空结构，所述第一列开口和所述第二列开口中相邻的两个开口之间的区域形成所述悬空结构的侧向支撑结构，

第一侧向支撑结构对应于所述超结构光栅中的第一空间周期的第一区域，第二侧向支撑结构对应于所述超结构光栅中的第二空间周期的第二区域，所述第一区域在所述第一空间周期中的相对位置与所述第二区域在所述第二空间周期中的相对位置不同，所述第一侧向支撑结构和所述第二侧向支撑结构为位于所述悬空结构同一侧的多个支撑结构中的任意两个侧向支撑结构，

在所述上包层的上表面上设置有第一开口、第二开口，所述第一开口、所述第二开口为设置在所述上包层的上表面上的任意两个开口，所述第一开口在沿着光在所述波导层中的传播方向上具有第一宽度，所述第二开口在沿着光在所述波导层中的传播方向上具有第二宽度，所述第一宽度与所述第二宽度不同。

2.根据权利要求1所述的反射镜结构，其特征在于，所述第一列开口和所述第二列开口中的至少一列开口的开口数量与所述超结构光栅的调制周期的数量不同。

3.根据权利要求1或2所述的反射镜结构，其特征在于，所述第一列开口和所述第二列开口包括的开口数量相同。

4.根据权利要求1或2所述的反射镜结构，其特征在于，所述第一列开口和所述第二列开口相对于所述第一列开口和所述第二列开口之间的中线对称。

5.根据权利要求1或2所述的反射镜结构，其特征在于，所述第一列开口和所述第二列开口中的至少一列开口包括周期性排列的多个开口，且所述第一列开口和/或所述第二列开口中的相邻的任意两个开口之间的距离与所述超结构光栅的空间周期不同。

6.根据权利要求1或2所述的反射镜结构，其特征在于，所述支撑层还包括至少一个底部支撑结构，所述至少一个底部支撑结构用于从底部支撑所述悬空结构。

7.根据权利要求6所述的反射镜结构，其特征在于，所述至少一个底部支撑结构为多个底部支撑结构，所述多个底部支撑结构沿着光在所述波导层中的传播方向排列在所述空间内。

8.根据权利要求6所述的反射镜结构，其特征在于，每个所述开口在沿着光在所述波导层中的传播方向上具有不同的宽度。

9.根据权利要求1、2、7、8中任一项所述的反射镜结构，其特征在于，还包括：

上阻挡层和下阻挡层，所述上阻挡层位于所述下包层与所述支撑层之间，所述下阻挡层位于所述支撑层与所述衬底层之间。

10.根据权利要求1、2、7、8中任一项所述的反射镜结构，其特征在于，还包括：

介质层，所述介质层位于所述上包层和所述加热层之间，所述加热器层位于所述介质层的上表面上与所述超结构光栅正对的区域。

11.根据权利要求10所述的反射镜结构，其特征在于，所述介质层还覆盖每个所述开口的内壁。