[发明专利]MEMS微驱动器及其制作方法有效
| 申请号： | 201710320971.8 | 申请日： | 2017-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN107128873B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 赵全亮;何广平;狄杰建;袁俊杰;宋维力;侯志灵;李明勇 | 申请（专利权）人： | 北方工业大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;H01H59/00 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;张杰 |
| 地址： | 100144 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS微驱动器，该MEMS微驱动器包括形成于衬底上的相互并联连接的第一传输部与第二传输部，同时接收并传输射频信号；形成于由第一传输部与第二传输部围成的区域内的支撑层与下电极，其与驱动信号相连接；形成于下电极上表面的驱动介质层；形成于驱动介质层上表面的上电极，其与接地信号相连接；以及形成于上电极上的第一开关触点与第二开关触点；其中，驱动介质层在驱动信号与所述接地信号产生的电场的作用下发生弹性形变，以使得第一开关触点和第二开关触点分别与第一传输部和第二传输部相接触，从而停止射频信号的传输。该MEMS微驱动器有效提高微驱动器的电传输信号功率处理能力，同时提高开关速度及抗环境干扰的能力。 | ||
| 搜索关键词： | mems 驱动器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS微驱动器，包括：衬底；形成于所述衬底上的相互并联连接的第一传输部与第二传输部，其配置为同时接收并传输射频信号；形成于由所述第一传输部与第二传输部围成的区域内的支撑层；形成于所述支撑层上表面的下电极，其与驱动信号相连接；形成于所述下电极上表面的驱动介质层；形成于所述驱动介质层上表面的上电极，其与接地信号相连接；以及形成于所述上电极上的第一开关触点与第二开关触点；其中，所述驱动介质层被配置为：在由所述驱动信号与所述接地信号产生的电场的作用下发生弹性形变，以使得所述第一开关触点和第二开关触点分别与所述第一传输部和第二传输部相接触，从而停止所述射频信号的传输。
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