[发明专利]一种空腔型声表面波谐振器及其加工方法有效
| 申请号： | 201710307554.X | 申请日： | 2017-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN106961258B | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 王国浩;张树民;陈海龙;汪泉 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/25;H03H3/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提出一种声表面波谐振器及其制备方法，具体地：先在硅基板上预先挖好一些沟槽，填充牺牲层材料，然后在基板上沉积一层压电薄膜材料，并在上面沉积和光刻形成金属叉指，最后将沟槽内的牺牲层通过腐蚀液彻底释放，从而形成底部空腔结构。本发明的方案结合薄膜体声波谐振器的结构与制备思路，使得最终声表面波谐振器的漏波能够通过空气腔界面反射回来，从而提高谐振器的Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空腔 表面波 谐振器 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种声表面波谐振器，其特征在于：所述声表面波谐振器包括压电材料基板、形成在所述压电材料基板上的金属叉指结构、形成在所述压电材料基板下方的空腔结构。
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