[发明专利]转印装置以及基板处理装置

摘要

本发明提供一种转印装置。转印装置具备：版保持部，其对转印版进行保持，该转印版具有由规定厚度的多孔质材料形成的多孔质板、以及形成于该多孔质板的一方的面侧的转印用的图案层；对象物保持部，其对能够供上述转印版的图案层转附的对象物以使得该对象物与转印版的一方的面密接或接近的方式进行保持；以及流体供给部，其从多孔质板的另一方的面侧向一方的面侧供给规定压力的流体。

主权项

1.一种转印方法，其特征在于，包括：在由规定厚度的多孔质材料形成的多孔质板的一方的面侧由液状或者凝胶状的功能性材料形成转印用的图案层的步骤，所述转印用的图案层由构成电子设备的层叠构造构成；使能够供所述图案层转附的对象物与所述多孔质板的所述一方的面侧密接而使所述图案层与所述对象物的表面接触的步骤；以及以使规定压力的气体从所述多孔质板的另一方的面侧向所述一方的面侧通过的方式供给所述气体，由此利用所述气体的压力使由所述功能性材料形成的所述图案层从所述多孔质板的所述一方的面侧剥离并转附于所述对象物的步骤。