[发明专利]转印装置以及基板处理装置

说明书

本发明提供一种转印装置。转印装置具备：版保持部，其对转印版进行保持，该转印版具有由规定厚度的多孔质材料形成的多孔质板、以及形成于该多孔质板的一方的面侧的转印用的图案层；对象物保持部，其对能够供上述转印版的图案层转附的对象物以使得该对象物与转印版的一方的面密接或接近的方式进行保持；以及流体供给部，其从多孔质板的另一方的面侧向一方的面侧供给规定压力的流体。

本申请是申请日为2015年1月30日、申请号为201380040811.8、发明名称为“转印装置以及基板处理装置”的申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及转印装置以及基板处理装置。

本申请基于2012年8月6日申请的日本特愿2012－173983号而主张优先权，并在此引用其内容。

背景技术

作为构成显示器装置等显示装置的显示元件，公知有例如液晶显示元件、有机电致发光(有机EL)元件、在电子纸中使用的电泳元件等。作为制作上述元件的手法之一，公知有例如被称为辊对辊(roll to roll)方式(以下，仅记为“辊式”)的手法(例如，参照专利文献1)。

辊式手法是将卷绕于基板供给侧的辊的一张片状的基板送出，并且一边利用基板回收侧的辊对送出的基板进行卷取一边输送基板，在基板被送出到被卷取的期间，在基板上依次形成显示电路、驱动电路等的图案(pattern)。近年来，例如大型的显示器装置等的需求很多，从而要求在基板上的广阔范围高效地形成图案的技术。作为这样的技术之一，公知有例如将预先形成于转印版的图案层转印到基板的转印法(转附法)。

专利文献1：国际公开第2006/100868号

然而，在转印法中，当将图案层向基板转印时，图案的一部分有可能残留于转印版。

发明内容

本发明所涉及的实施方式的目的在于，提供一种在转印时能够抑制图案层残留于转印版的转印装置以及基板处理装置。

本发明所涉及的一个实施方式的转印装置具备：版保持部，其对转印版进行保持，该转印版具有由规定厚度的多孔质材料形成的多孔质板、以及形成于该多孔质板的一方的面侧的转印用的图案层；对象物保持部，其对能够供转印版的图案层转附的对象物以使得该对象物与转印版的一方的面密接或接近的方式进行保持；以及流体供给部，其从多孔质板的另一方的面侧向一方的面侧供给规定压力的流体。

本发明所涉及的一个实施方式的基板处理装置具备：基板输送部，其对形成为带状的基板进行输送；以及多个基板处理部，它们对由上述基板输送部输送的基板进行处理，使用上述转印装置作为基板处理部。

本发明所涉及的一个实施方式的设备制造方法是在柔性的基板上制造包含薄膜晶体管的电子设备的方法，所述设备制造方法包括：第一工序，在该第一工序中，在由规定厚度的多孔质材料形成的多孔质板的一方的面侧，形成构成上述薄膜晶体管的电极层、半导体层、绝缘层中的任意两层的层叠构造体；第二工序，在该第二工序中，在使形成有上述层叠构造体的上述多孔质板的一方的面侧、与上述基板的表面密接或者接近的状态下，从上述多孔质板的另一方的面侧向上述一方的面侧供给规定压力的流体，将上述多孔质板上的上述层叠构造体转印于上述基板的表面；以及第三工序，在该第三工序中，在被转印到上述基板的表面的上述层叠构造体的表面或者上述基板的表面，形成构成上述薄膜晶体管的剩余的层、或者与上述电极连接的配线层。

根据本发明所涉及的实施方式，能够提供在转印时抑制图案层残留于转印版的转印装置以及基板处理装置。

附图说明

图1是示出本发明所涉及的第一实施方式的转印装置的整体结构的立体图。

图2是示出本实施方式的多孔质片材的结构的剖视图。

图3是示出本实施方式的喷气辊的结构的立体图。