[发明专利]一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置及方法

摘要

本发明公开了一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置，它包括底板（5）、定位板（6）和校正板（7），定位板（6）固定于底板（5）的顶部，定位板（6）纵向设置，定位柱（8）截面呈三角形，校正板（7）放置于底板（5）上且遮盖腰形孔和电磁铁（11），校正板（7）的边缘上设置有两个V形卡槽（12），它还包括第一定位杆（13）和第二定位杆（14），第一定位杆（13）的下端部贯穿校正板（7）且抵于第一腰形孔（9）内，第二定位杆（14）的下端部穿过校正板（7）且抵于第二腰形孔（10）内，定位杆的外径小于腰形孔的宽度；它还公开了校准方法。本发明的有益效果是：结构紧凑、提高校准效率、减轻劳动强度、操作简单。

主权项

1.一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准方法，该方法采用校准装置进行校准，该校准装置包括底板（5）、定位板（6）和校正板（7），所述的定位板（6）固定于底板（5）的顶部，定位板（6）纵向设置，定位板（6）的右端面上由前往后顺次布置有四个定位柱（8），定位柱（8）截面呈三角形，所述的底板（5）的顶表面上且位于定位板（6）的右侧设置有凹槽、第一腰形孔（9）和第二腰形孔（10），凹槽内设置有电磁铁（11），腰形孔纵向设置，所述校正板（7）放置于底板（5）上且遮盖腰形孔和电磁铁（11），校正板（7）的边缘上设置有两个V形卡槽（12），V形卡槽（12）分别卡于位于定位板（6）前侧的两个定位柱（8）上，V形卡槽（12）的夹角大于定位柱（8）顶角，它还包括第一定位杆（13）和第二定位杆（14），第一定位杆（13）的下端部贯穿校正板（7）且抵于第一腰形孔（9）内，第二定位杆（14）的下端部穿过校正板（7）且抵于第二腰形孔（10）内，定位杆的外径小于腰形孔的宽度，所述的定位板（6）经螺钉（15）螺纹连接于底板（5）上，所述的第一腰形孔（9）位于第二腰形孔（10）的后侧，所述的校正板（7）为矩形状，其特征在于：该方法包括以下步骤：S1、待校准下掩膜板的工装：将待校准下掩膜板（16）平放置于底板（5）顶表面且放置于校正板（7）的后侧，并将待校准下掩膜板（16）的V形槽（3）分别卡于位于定位板（6）后侧的定位柱（8）上，从而实现了待校准下掩膜板（16）的工装；S2、待校准上掩膜板的工装：将待校准上掩膜板（17）平放置于步骤S1中待校准下掩膜板（16）的顶表面，并将待校准上掩膜板（17）的V形槽（3）分别卡于位于定位板（6）后侧的定位柱（8）上，从而实现了待校准上掩膜板（17）的工装；S3、待校准上下掩膜板的校准：先将电磁铁（11）断电，电磁铁（11）与校正板（7）分离，再同时向后推动第一定位杆（13）和第二定位杆（14），第一定位杆（13）沿着第一腰形孔（9）移动，第二定位杆（14）沿着第二腰形孔（10）移动，此时校正板（7）同时靠在待校准上掩膜板（17）和待校准下掩膜板（16）的前边上，从而保证待校准上下掩膜板各对应边的平齐，进一步的实现了待校准上下掩膜板的校准。