[发明专利]一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置及方法

说明书

本发明公开了一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置，它包括底板（5）、定位板（6）和校正板（7），定位板（6）固定于底板（5）的顶部，定位板（6）纵向设置，定位柱（8）截面呈三角形，校正板（7）放置于底板（5）上且遮盖腰形孔和电磁铁（11），校正板（7）的边缘上设置有两个V形卡槽（12），它还包括第一定位杆（13）和第二定位杆（14），第一定位杆（13）的下端部贯穿校正板（7）且抵于第一腰形孔（9）内，第二定位杆（14）的下端部穿过校正板（7）且抵于第二腰形孔（10）内，定位杆的外径小于腰形孔的宽度；它还公开了校准方法。本发明的有益效果是：结构紧凑、提高校准效率、减轻劳动强度、操作简单。

技术领域

本发明涉及上下掩膜板校准的技术领域，特别是一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置及方法。

背景技术

石英晶体振荡器是一种高精度和高稳定度的振荡器，被广泛应用于远程通信、卫星通信、移动电话系统、全球定位系统（GPS）、导航、遥控、航空航天、高速计算机、精密计测仪器及消费类民用电子产品中。因其具有频率稳定度高这一特点,故在电子技术领域中一直占有重要的地位。近年来，随着现代科学技术的发展，对石英晶体振荡器的尺寸、质量、稳定性不断的提出新的要求。随着石英晶体振荡器的尺寸的减小，以及通信产业的快速普及，生产石英晶体振荡器的实际问题也愈发明显。

目前有一种掩膜板包括上掩膜板（1）和下掩膜板（2），如图1所示，上掩膜板（1）的外边缘为上边框，下掩膜板（2）的外边缘为下边框，上边框和下边框的一侧边均开设有两个V形槽（3），且上边框和下边框上均开设有边缘孔（4），上掩膜板（1）和下掩膜板（2）的中部均开设有呈阵列的孔，石英晶片在真空溅射镀膜时，需将石英晶片夹在上掩膜板（1）的孔和下掩膜板（2）的孔之间，随后才能进行真空镀膜，实现石英晶片上下表面的镀膜。因此必须保证上掩膜板（1）的孔和下掩膜板（2）的孔对齐，否成会影响镀膜质量，对齐操作是将上下掩膜板的两个临边平齐。目前的校准方法主要采用人工在高倍显微镜下进行目测校准，由于产品电极尺寸要求小，人工在操作过程中需要非常精准的将上下掩膜板对齐，此过程难度较大，且需要技术熟练员工操作，总之，现有技术存在准确性差、重复性不好等缺点，会对电极带来错位等缺陷，严重影响产品质量以及生产效率。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种结构紧凑、提高校准效率、减轻劳动强度、操作简单的石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置及方法。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：一种石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的校准装置，它包括底板、定位板和校正板，所述的定位板固定于底板的顶部，定位板纵向设置，定位板的右端面上由前往后顺次布置有四个定位柱，定位柱截面呈三角形，所述的底板的顶表面上且位于定位板的右侧设置有凹槽、第一腰形孔和第二腰形孔，凹槽内设置有电磁铁，腰形孔纵向设置，所述校正板放置于底板上且遮盖腰形孔和电磁铁，校正板的边缘上设置有两个V形卡槽，V形卡槽分别卡于位于定位板前侧的两个定位柱上，V形卡槽的夹角大于定位柱顶角，它还包括第一定位杆和第二定位杆，第一定位杆的下端部贯穿校正板且抵于第一腰形孔内，第二定位杆的下端部穿过校正板且抵于第二腰形孔内，定位杆的外径小于腰形孔的宽度。

所述的定位板经螺钉螺纹连接于底板上。

所述的第一腰形孔位于第二腰形孔的后侧。

所述的校正板为矩形状。

所述的装置校准石英晶体振荡器真空溅射镀膜掩膜板的方法，它包括以下步骤：

S1、待校准下掩膜板的工装：将待校准下掩膜板平放置于底板顶表面且放置于校正板的后侧，并将待校准下掩膜板的V形槽分别卡于位于定位板后侧的定位柱上，从而实现了待校准下掩膜板的工装；

S2、待校准上掩膜板的工装：将待校准上掩膜板平放置于步骤S1中待校准下掩膜板的顶表面，并将待校准上掩膜板的V形槽分别卡于位于定位板后侧的定位柱上，从而实现了待校准上掩膜板的工装；