[发明专利]多波长混合集成光发射阵列在审
| 申请号： | 201710290251.1 | 申请日： | 2017-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN107026391A | 公开（公告）日： | 2017-08-08 |
| 发明（设计）人： | 祝宁华;黄庆超;陈伟;刘建国 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/40 | 分类号： | H01S5/40 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多波长混合集成光发射阵列，包括多个光处理单元，每个光处理单元包括一有源光器件，包含第一衬底，所述第一衬底材料为III‑V族半导体材料，用于发射激光；一分束光波导，包含第二衬底，第二衬底的材料与第一衬底相同，用于将所述激光分束，形成分束激光。本发明中，有源光器件和分束光波导的衬底为同一III‑V族半导体材料，减少了不同材料耦合造成的光损耗，有利于降低光发射阵列的功耗，且改善了多波长混合集成光发射阵列的制备工艺和尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 混合 集成 发射 阵列 | ||
【主权项】：
一种多波长混合集成光发射阵列，其特征在于，包括多个光处理单元，每个光处理单元包括：一有源光器件，用于发射激光，包含第一衬底，所述第一衬底为III‑V族半导体材料；一分束光波导，用于将所述激光分束形成分束激光，包含第二衬底，第二衬底的材料与第一衬底相同。
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