[发明专利]光学材料应力量测系统

摘要

本发明提供一种光学材料应力量测系统，前述光学材料应力量测系统包含待测试片、起偏镜、检偏镜、光源、取像设备及运算装置。运算装置运用四步相位移运算及等色线强化运算可以对应修正低应力下难以侦测的问题及提升量测效果，本发明的光学材料应力量测系统以更简化的硬件系统完成穿透式或反射式的精确全场量测作业。

主权项

1.一种光学材料应力量测系统，其特征在于，包含：一待测试片，其材料为具有暂态双折射现象的玻璃、高分子聚合物、硅晶圆或陶瓷；一起偏镜，其位于该待测试片的一第一侧；一检偏镜，其位于该待测试片相对该第一侧的一第二侧；一光源，其位于该起偏镜外，且该光源照射一光线依序通过该起偏镜、该待测试片及该检偏镜；一取像设备，其位于该检偏镜外以接收该光线，且取得该光线的四光强影像或二等色线强化影像；以及一运算装置，其连接该取像设备以进行一四步相位移运算、一等色线强化运算及一延迟量转换运算；其中，该取像设备撷取该待测试片在相异四个相位角下的四该光强影像，若该些光强影像具有充足的四光强值，则该运算装置运算该些光强值以获得该待测试片的一延迟量，当该待测试片为低应力状况而令其中任一该光强影像未具充足的一该光强值时，则该取像设备撷取该待测试片二该等色线强化影像后获得二强化光强值、一等色线强化背景光强值及一等色线强化振幅项光强值，再以该运算装置运算该等色线强化背景光强值、该等色线强化振幅项光强值及该些强化光强值以获得该待测试片的该延迟量，通过该延迟量转换为该待测试片的一应力值。