[发明专利]光学材料应力量测系统

权利要求书

1.一种光学材料应力量测系统，其特征在于，包含：

一待测试片，其材料为具有暂态双折射现象的玻璃、高分子聚合物、硅晶圆或陶瓷；

一起偏镜，其位于该待测试片的一第一侧；

一检偏镜，其位于该待测试片相对该第一侧的一第二侧；

一光源，其位于该起偏镜外，且该光源照射一光线依序通过该起偏镜、该待测试片及该检偏镜；

一取像设备，其位于该检偏镜外以接收该光线，且取得该光线的四光强影像或二等色线强化影像；以及

一运算装置，其连接该取像设备以进行一四步相位移运算、一等色线强化运算及一延迟量转换运算；

其中，该取像设备撷取该待测试片在相异四个相位角下的四该光强影像，若该些光强影像具有充足的四光强值，则该运算装置运算该些光强值以获得该待测试片的一延迟量，当该待测试片为低应力状况而令其中任一该光强影像未具充足的一该光强值时，则该取像设备撷取该待测试片二该等色线强化影像后获得二强化光强值、一等色线强化背景光强值及一等色线强化振幅项光强值，再以该运算装置运算该等色线强化背景光强值、该等色线强化振幅项光强值及该些强化光强值以获得该待测试片的该延迟量，通过该延迟量转换为该待测试片的一应力值。

2.根据权利要求1所述的光学材料应力量测系统，其特征在于，其中该运算装置中，该延迟量视为δ、该待测试片主应力角为θ、I_a为振幅项光强值、I_b是背景光强值，该四步相位移运算是以包含利用该四光强值I₁、I₂、I₃及I₄联立运算出含sin²(δ/2)和cos²(δ/2)且无θ的两运算光强值，并再利用该两运算光强值联立运算以获得该延迟量δ，联立运算式如下：

及

并利用该四光强值I₁、I₂、I₃及I₄联立运算出主应力角θ，联立运算式如下：

3.根据权利要求1所述的光学材料应力量测系统，其特征在于，其中该运算装置中，该延迟量为δ、该待测试片主应力角为θ、该等色线强化背景光强值为I_{b_E}、该等色线强化振幅项光强值I_{a_}E、一原曝光时间为s、一增强的曝光时间为s_E、二该强化光强值为I_{4_E}及I_{2_E}，原本一光强振幅项光强值为I_a，该等色线强化运算的联立运算式如下：

及

4.根据权利要求1所述的光学材料应力量测系统，其特征在于，其中该取像设备获得该些等色线强化影像的方式是以该光源增加曝光时间。

5.根据权利要求1所述的光学材料应力量测系统，其特征在于，其中该取像设备获得该些等色线强化影像的方式是增加该光源的强度。