[发明专利]一种大尺寸高纯铝靶材的制备方法

摘要

本发明涉及一种大尺寸高纯铝靶材的制备方法，1）将高纯铝铸锭进行表面铣削去除表面的氧化层；2）将铸锭放入加热至230～400℃；3）在热粗轧机上进行轧制；保证单道次压下量在20～60mm，将板坯厚度轧制至40～80mm，将板坯剪切为宽幅靶材所需的长度，如700mm长，自然冷却；4）将冷却后的板坯再次加热，加热温度200～350℃，保温时间1h；5）在可逆式轧机上进行横向轧制，进行1道次轧至成品厚度；6）对板材进行200～350℃，保温时间1～2h的退火；7）板材矫平后铣削加工，获得晶粒在70～120um的高纯铝靶材；本发明可提高铸锭通用性，可减少了靶材对进口的依赖。

主权项

一种大尺寸高纯铝靶材的制备方法，其特征在于：其主要工艺流程为：1）将纯度大于99.999wt%的高纯铝铸锭进行表面铣削，铣面量≥3mm，去除表面的氧化层；2）将宽度为1300mm的铸锭放入加热炉加热至230～400℃；3）在热粗轧机上进行轧制；同时保证单道次压下量在20～60mm，将板坯厚度轧制至40～80mm，根据宽幅靶材成品的尺寸需求，将板坯剪切为宽幅靶材所需的长度1700mm长，自然冷却；4）将冷却后的板坯再次放入加热炉进行加热，加热温度200～350℃，保温时间1h；5）在可逆式轧机上进行横向轧制，即将板坯的长度作为宽度，进行1道次轧至成品厚度；6）对板材进行200～350℃，保温时间1～2h的退火；7）板材矫平后进行铣削加工，获得平均晶粒在70～120μm的高纯铝靶材；即实现了使用1300mm宽窄规格铸锭生产1700mm宽规格靶材，使用交叉变形轧制，细化了成品靶材晶粒；在第二步骤中的加热炉为推进式加热炉；在第三步骤中的热粗轧机为可逆式热粗轧机；在第三步骤轧制时，通过控制板坯变形量和乳液冷却控制板坯变形温度；在第三步骤中铸锭在可逆式轧机上进行轧制的方法，其主要工艺过程包括：1）将可逆式轧机辊缝设定为单道次压下量的一半；2）可逆式轧机乳液润滑关闭，铸锭以不大于0.5m/s的速度咬入；3）铸锭咬入后轧机立即停止，头部轧制长度控制在500mm以内，轧辊反转，铸锭回退至入口侧；4）轧机辊缝设定为单道次压下量，乳液开启，铸锭头部以单道次一半压下量咬入，后部铸锭以单道次压下量轧制。