[发明专利]软X射线滤光膜在审
申请号: | 201710262140.X | 申请日: | 2017-04-20 |
公开(公告)号: | CN107024489A | 公开(公告)日: | 2017-08-08 |
发明(设计)人: | 陈田祥;陈勇;卢方军 | 申请(专利权)人: | 中国科学院高能物理研究所 |
主分类号: | G01N23/02 | 分类号: | G01N23/02 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司11438 | 代理人: | 李华,崔香丹 |
地址: | 100049 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 提供一种软X射线滤光膜,包括聚酰亚胺薄膜,具有相对的第一表面和第二表面;镍框,设置于所述聚酰亚胺薄膜的第一表面周边;以及铝膜,设置于所述聚酰亚胺薄膜的所述第一和第二表面。更进一步滤光膜还可以包括与镍框一体形成的镍网。本发明的滤光膜,聚酰亚胺(PI)薄膜增强滤光膜的力学强度及韧性,镍框提供封装接口,便于封装。并且,制备本发明的抗压力软X射线滤光膜生产过程无毒,容易加工,解决低能段X射线高透过率的力学强度的要求。更进一步镍网可以加强滤光膜的力学强度及抗压能力。 | ||
搜索关键词: | 射线 滤光 | ||
【主权项】:
一种软X射线滤光膜,其特征在于,包括:聚酰亚胺薄膜,具有相对的第一表面和第二表面;镍框,设置于所述聚酰亚胺薄膜的第一表面周边;以及铝膜,设置于所述聚酰亚胺薄膜的所述第一和第二表面。
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