[发明专利]喷头、气相生长装置以及气相生长方法有效
| 申请号： | 201710248403.1 | 申请日： | 2017-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN107366014B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 山田拓未;佐藤裕辅 | 申请（专利权）人： | 纽富来科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C23C16/455 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐冰冰;刘杰 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种喷头、气相生长装置以及气相生长方法，实施方式的喷头具备：混合室，被供给工艺气体；多个冷却部，分别隔着从混合室导入工艺气体的间隙设置在混合室的下方，且分别在内部具有沿水平方向设置的冷却孔；多个缓冲区域，设置在间隙的下方，从间隙导入工艺气体；以及喷淋板，设置在缓冲区域的下方，以规定的间隔配置有从缓冲区域导入工艺气体的多个贯通孔。 | ||
| 搜索关键词： | 喷头 相生 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种喷头，具备：混合室，被供给工艺气体；多个冷却部，分别隔着从上述混合室导入上述工艺气体的间隙设置在上述混合室的下方，且分别在内部具有沿水平方向设置的冷却孔；多个缓冲区域，设置在上述间隙的下方，从上述间隙被导入上述工艺气体；以及喷淋板，设置在上述缓冲区域的下方，以规定的间隔配置有从上述缓冲区域导入上述工艺气体的多个贯通孔。
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