[发明专利]硅片矫正设备

摘要

本发明涉及硅片生产设备技术领域，尤其是涉及一种硅片矫正设备，包括检测装置、机架和控制单元，所述机架上转动设置有辊轴，所述机架上设有用于驱动辊轴转的电机，所述机架上转动设置有基板，所述机架上设有用于驱动基板转动的第一驱动装置，所述基板上开设有凹槽，所述辊轴位于所述凹槽内，本发明硅片矫正设备在使用时，通过转动基板，由隔壁阻隔硅片的输送，使得硅片在自身重量作用下与限位板接触并矫正，再将基板转动恢复原有状态将硅片输出即可，矫正效率高，避免了传统矫正设备均为通过与硅片两侧接触使得硅片位置变化，由于硅片本身比较脆，且易碎，很容易既能够硅片夹伤，导致硅片报废，增加生产成本的问题。

主权项

一种硅片矫正设备，其特征在于：包括检测装置(1)、机架(2)和控制单元(3)，所述机架(2)上转动设置有辊轴(4)，所述机架(2)上设有用于驱动辊轴(4)转的电机(5)，所述机架(2)上转动设置有基板(6)，所述机架(2)上设有用于驱动基板(6)转动的第一驱动装置(7)，所述基板(6)上开设有凹槽(8)，所述辊轴(4)位于所述凹槽(8)内，所述基板(6)位于辊轴(4)轴线方向的一端滑动设置有限位板(9)，所述机架(2)上设有用于驱动限位板(9)滑动的第二驱动装置(13)，所述基板(6)上设有隔板(10)，所述隔板(10)位于所述辊轴(4)的输出端，所述基座上设有用于带动隔板(10)上升或者下降的第三驱动装置(11)，所述检测装置(1)位于所述机架(2)远离隔板(10)的一端且位于机架(2)上方，所述第一驱动装置(7)、第二驱动装置(13)、第三驱动装置(11)和检测装置(1)均与控制单元(3)信号连接。