[发明专利]太阳能电池背电极和太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明提供了太阳能电池领域，具体公开了一种太阳能电池背电极和太阳能电池及其制备方法。所述太阳能电池背电极的制备方法包括采用磁控溅射法在基底的一侧表面上依次循环交替沉积高气压钼层和低气压钼层以作为底电极，不同高气压钼层的厚度各自独立地为30‑200nm，不同低气压钼层的厚度各自独立地为40‑300nm，沉积不同高气压钼层的压力各自独立地为0.7‑3.0Pa，沉积不同低气压钼层的压力各自独立地为0.01‑0.5Pa。本发明利用高、低气压下制备周期性多层交替钼层结构，能够使得到的太阳能电池背电极具有良好的电学性质、附着力及高温稳定性，同时降低其残余应力。

主权项

1.一种太阳能电池背电极的制备方法，其特征在于，该方法包括采用磁控溅射法在基底的一侧表面上依次循环交替沉积高气压钼层和低气压钼层以作为底电极，各个高气压钼层的厚度各自独立地为30‑200nm，各个低气压钼层的厚度各自独立地为40‑300nm，沉积各个高气压钼层的压力各自独立地为0.7‑3.0Pa，沉积各个低气压钼层的压力各自独立地为0.01‑0.5Pa。