[发明专利]感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 201710220561.6 | 申请日： | 2017-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN107272335B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 阿部明生;田上胜弥 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及感光性树脂组合物。本发明的课题在于提供能够抑制具有Cardo结构的树脂的析出、并且能够形成平滑的固化膜的感光性树脂组合物；由该感光性树脂组合物的固化物形成的固化膜；和使用该感光性树脂组合物的固化膜的形成方法。本发明的解决手段为一种感光性树脂组合物，其包含(A)碱溶性树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(S)溶剂，所述(A)碱溶性树脂含有具有Cardo结构的树脂，所述感光性树脂组合物中，作为(S)溶剂，大气压下的沸点低于180℃的(L)低沸点溶剂和大气压下的沸点为180℃以上且300℃以下的(H)高沸点溶剂以分别规定的量而使用，(H)高沸点溶剂中含有具有芳香族烃环和酯键的化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
感光性树脂组合物，其包含(A)碱溶性树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(S)溶剂，所述(A)碱溶性树脂含有具有Cardo结构的树脂，所述(S)溶剂包含大气压下的沸点低于180℃的(L)低沸点溶剂、及大气压下的沸点为180℃以上且300℃以下的(H)高沸点溶剂，所述(H)高沸点溶剂包含具有芳香族烃环和酯键的化合物，所述(H)高沸点溶剂在所述(S)溶剂中的含量为1质量％以上且30质量％以下。
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