[发明专利]感光性树脂组合物有效

专利信息
申请号: 201710220561.6 申请日: 2017-04-06
公开(公告)号: CN107272335B 公开(公告)日: 2022-04-22
发明(设计)人: 阿部明生;田上胜弥 申请(专利权)人: 东京应化工业株式会社
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/027
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 杨宏军
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 感光性 树脂 组合
【权利要求书】:

1.感光性树脂组合物,其包含(A)碱溶性树脂、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(S)溶剂,

所述(A)碱溶性树脂含有具有Cardo结构的树脂,

所述(S)溶剂包含大气压下的沸点低于180℃的(L)低沸点溶剂、及大气压下的沸点为180℃以上且250℃以下的(H)高沸点溶剂,

所述(H)高沸点溶剂包含具有芳香族烃环和酯键的化合物,

所述(H)高沸点溶剂在所述(S)溶剂中的含量为1质量%以上且30质量%以下,

所述具有Cardo结构的树脂为下述式(a-1)表示的树脂,

上述式(a-1)中,Xa表示由下述式(a-2)所示的基团,Ya表示从二羧酸酐中除去酸酐基团即-CO-O-CO-而得的残基,Za表示从四羧酸二酐中除去2个酸酐基团而得的残基,m表示0~20的整数,

上述式(a-2)中,Ra1各自独立地表示氢原子、碳原子数1~6的烃基或卤原子,Ra2各自独立地表示氢原子或甲基,Wa表示单键或下述式(a-3)表示的基团,

2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,所述(H)高沸点溶剂在大气压下的沸点为180℃以上且220℃以下。

3.如权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,所述具有芳香族烃环和酯键的化合物为选自由脂肪族羧酸的苄基酯及苯甲酸的烷基酯组成的组中的1种以上的化合物。

4.如权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,所述(H)高沸点溶剂在所述(S)溶剂中的含量为5质量%以上且15质量%以下。

5.如权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,所述感光性树脂组合物包含(D)颜料。

6.固化膜,其是由权利要求1~4中任一项所述的感光性树脂组合物的固化物形成的。

7.固化膜,其是由权利要求5所述的感光性树脂组合物的固化物形成的。

8.如权利要求6或7所述的固化膜,所述固化膜的表面粗糙度Ra为15nm以下。

9.固化膜的形成方法,其包括下述工序:

将权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上,从而形成涂布膜的工序;和

对所述涂布膜进行曝光的工序。

10.如权利要求9所述的固化膜的形成方法,所述方法包括:以位置选择性方式进行对所述涂布膜的曝光,进而,对经曝光的所述涂布膜进行显影。

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