[发明专利]一种柔性微纳光纤角度传感芯片及传感器和制备方法有效
申请号: | 201710218370.6 | 申请日: | 2017-04-05 |
公开(公告)号: | CN107014411B | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 张磊;童利民 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01D5/353 | 分类号: | G01D5/353 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 陈昱彤 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开一种柔性微纳光纤角度传感芯片,包括柔性基片和光纤拉锥,光纤拉锥的拉伸部分、拉锥过渡区以及两端未拉伸部分的局部包埋于柔性基片内,所述柔性微纳光纤角度传感芯片的弯曲位置位于光纤拉锥的拉伸部分。当微纳光纤传感芯片发生弯曲时,由于微纳光纤的弯曲损耗和柔性聚合物折射率的增加,输出光强信号随之变小,从而实现角度传感。并且,本发明能实现超高灵敏度的角度传感。由于微纳光纤包埋于柔性材料中,微纳光纤可以免受外界环境因素的干扰,本发明具有良好的稳定性,机械强度和抗电磁干扰能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 柔性 光纤 角度 传感 芯片 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种柔性微纳光纤角度传感芯片,其特征是:包括柔性基片和光纤拉锥,光纤拉锥的拉伸部分(1)、拉锥过渡区(2)以及两端未拉伸部分(3)的局部包埋于柔性基片内,所述柔性微纳光纤角度传感芯片的弯曲位置位于光纤拉锥的拉伸部分(1)。
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