[发明专利]一种脉冲功率源和半导体设备

摘要

本发明提供一种脉冲功率源和半导体设备，利用连续波功率源代替现有的射频脉冲电源，并令其输出的连续波功率信号先经过匹配器，使得匹配器内的阻抗检测装置能检测到连续的电压电流信号，从而避免阻抗失配的问题，之后，再利用功率分配器将匹配后的连续波功率信号分解为至少两路信号，一路信号经由移相器移相后再与其余的信号叠加，得到射频脉冲信号，这样，既能够产生射频脉冲信号，利用脉冲射频能量进行工艺降低等离子体诱导损伤，又能够保证阻抗匹配，提高匹配器的稳定性，从而进一步提高反应腔室的阻抗稳定性，尤其是在低占空比和高脉冲频率的情况下，提高匹配器的稳定性的效果更明显。

主权项

1.一种脉冲功率源，包括匹配器，其特征在于，还包括连续波功率源、功率分配器、第一移相器和第一功率合成器，所述功率分配器具有至少两个输出端，所述第一功率合成器具有至少两个输入端；/n所述匹配器的输入端和输出端分别与所述连续波功率源的输出端和所述功率分配器的输入端相连，所述功率分配器的第一输出端与所述第一功率合成器的第一输入端相连，所述功率分配器的第二输出端经所述第一移相器与所述第一功率合成器的第二输入端相连；/n所述连续波功率源输出的连续波功率信号，经过所述匹配器后，由所述功率分配器分配为至少两路功率信号，且其中至少一路功率信号经所述第一移相器改变相位后，再与其余功率信号经所述第一功率合成器合成为脉冲功率信号输出；/n所述连续波功率源的频率与所述匹配器、所述功率分配器、所述第一移相器、所述第一功率合成器的频率相等。/n