[发明专利]一种脉冲功率源和半导体设备

权利要求书

1.一种脉冲功率源，包括匹配器，其特征在于，还包括连续波功率源、功率分配器、第一移相器和第一功率合成器，所述功率分配器具有至少两个输出端，所述第一功率合成器具有至少两个输入端；

所述匹配器的输入端和输出端分别与所述连续波功率源的输出端和所述功率分配器的输入端相连，所述功率分配器的第一输出端与所述第一功率合成器的第一输入端相连，所述功率分配器的第二输出端经所述第一移相器与所述第一功率合成器的第二输入端相连；

所述连续波功率源输出的连续波功率信号，经过所述匹配器后，由所述功率分配器分配为至少两路功率信号，且其中至少一路功率信号经所述第一移相器改变相位后，再与其余功率信号经所述第一功率合成器合成为脉冲功率信号输出；

所述连续波功率源的频率与所述匹配器、所述功率分配器、所述第一移相器、所述第一功率合成器的频率相等。

2.如权利要求1所述的脉冲功率源，其特征在于所述频率为400KHz、2MHz、13.56MHz、27MHz、40MHz、60MHz或100MHz。

3.如权利要求1所述的脉冲功率源，其特征在于，所述第一移相器为电控移相器或机械控制移相器。

4.如权利要求1所述的脉冲功率源，其特征在于，所述第一移相器的相移度数为180度，且相移时间相同。

5.如权利要求1所述的脉冲功率源，其特征在于，所述功率分配器的多个输出端输出的功率信号比值相等且固定不变。

6.一种脉冲功率源，包括匹配器，其特征在于，还包括连续波功率源、功率分配器、第二移相器、第二功率合成器、第三移相器和第三功率合成器；所述功率分配器具有至少四个输出端，所述第二和第三功率合成器具有至少两个输入端；

所述匹配器的输入端和输出端分别与所述连续波功率源的输出端和所述功率分配器的输入端相连，所述功率分配器的第一输出端与所述第二功率合成器的第一输入端相连，所述功率分配器的第二输出端经所述第二移相器与所述第二功率合成器的第二输入端相连；

所述功率分配器的第三输出端与所述第三功率合成器的第一输入端相连，所述功率分配器的第四输出端经所述第三移相器与所述第三功率合成器的第二输入端相连；

所述连续波功率源输出的连续波功率信号，经过所述匹配器后，由所述功率分配器分配为两组功率信号，每组功率信号包括至少两路功率信号，且其中第一组功率信号中的一路功率信号经所述第二移相器改变相位后，再与第一组功率信号中的其余功率信号经所述第二功率合成器合成为脉冲功率信号输出；第二组功率信号中的一路功率信号经所述第三移相器改变相位后，再与第二组功率信号中其余功率信号经所述第三功率合成器合成为脉冲功率信号输出；

所述连续波功率源的频率与所述匹配器、所述功率分配器、所述第二移相器、所述第二功率合成器、所述第三移相器、所述第三功率合成器的频率相等。

7.如权利要求6所述的脉冲功率源，其特征在于，所述频率为400KHz、2MHz、13.56MHz、27MHz、40MHz、60MHz或100MHz。

8.如权利要求6所述的脉冲功率源，其特征在于，所述第二移相器和所述第三移相器为电控移相器或机械控制移相器。

9.如权利要求6所述的脉冲功率源，其特征在于，所述第二移相器的相移度数为180度，且相移时间相同；所述第三移相器的相移度数为180度，且相移时间相同。

10.如权利要求6所述的脉冲功率源，其特征在于，所述功率分配器的多个输出端输出的功率信号比值相等且固定不变。

11.一种半导体设备，其特征在于，包括如权利要求1-5任一项所述的脉冲功率源。