[发明专利]一种用于微型原子传感器的垂直腔面发射激光器

摘要

本申请公开了一种用于微型原子传感器的垂直腔面发射激光器，包括依次设置于N面电极上表面的衬底层、N型DBR层、有源层和P型DBR层，分别构成圆柱形台面和分段柱形台面，圆柱形台面周围开设环形窗口，其底部位于N型DBR层中，其底面和侧面及位于其周围的P型DBR层的一部分上表面设置有介质薄膜电流限制层，其侧面和上表面以及上表面周围的P型DBR层的一部分上表面设置P面电极，分段柱形台面的P型DBR层的上表面位于P面电极外周部以外的区域覆盖有激光反射镜，能够在不增加器件工艺和材料生长工艺复杂程度，不使用外部温控，不影响器件性能的前提下，使其波长移动至满足应用需求的范围内，避免器成品率下降的问题。

主权项

1.一种用于微型原子传感器的垂直腔面发射激光器，其特征在于，包括依次设置于N面电极上表面的衬底层、N型DBR层、有源层和P型DBR层，其中，所述N型DBR层、所述有源层和所述P型DBR层共同构成圆柱形台面，所述N型DBR层、所述有源层和所述P型DBR层还共同构成了位于所述圆柱形台面外周部的分段柱形台面，所述圆柱形台面的周围开设有环形窗口，所述环形窗口的底部位于所述N型DBR层中，所述环形窗口的底面和侧面及位于其周围的所述P型DBR层的一部分上表面设置有介质薄膜电流限制层，所述介质薄膜电流限制层的侧面和上表面以及上表面周围的所述P型DBR层的一部分上表面设置有P面电极，所述分段柱形台面的P型DBR层的上表面位于所述P面电极外周部以外的区域覆盖有激光反射镜，用于在注入电流时将产生热量通过所述N型DBR层传输至所述圆柱形台面的位置以控制激光的输出波长向长波移动的程度。