[发明专利]没有多晶硅发射极的联栅晶体管在审
申请号: | 201710207338.8 | 申请日: | 2017-03-31 |
公开(公告)号: | CN106920835A | 公开(公告)日: | 2017-07-04 |
发明(设计)人: | 李思敏 | 申请(专利权)人: | 李思敏 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L21/336;H01L29/80 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司11100 | 代理人: | 张晶,郭佩兰 |
地址: | 100011 北京市朝*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种没有多晶硅发射极的联栅晶体管,在下层为N型低电阻率层、上层为N型高电阻率层的硅衬底片的上表面有N型的高掺杂浓度的发射区,该发射区的上面连接发射极金属层,其特点是所述基极金属层与浓基区汇流条的上表面相连接,所述浓基区上面与发射区连接。本发明的优点是能够提供更均匀的电流分布,具有较强的抗冲击能力,具有更好的一致性,而且成本更低。 | ||
搜索关键词: | 没有 多晶 发射极 晶体管 | ||
【主权项】:
一种没有多晶硅发射极的联栅晶体管,在下层为N型低电阻率层、上层为N型高电阻率层的硅衬底片的上表面有高掺杂浓度的N型发射区,该N型发射区的上面连接着发射极金属层,N型发射区的下面有P型基区,P型基区的侧面连着掺杂浓度比基区高的P型浓基区,P型浓基区与P型浓基区汇流条正交,硅衬底片的上方有基极金属层,硅衬底片的上层N型高电阻率层位于P型基区和P型浓基区以下的部分为集电区,硅衬底片的N型低电阻率层为集电极,集电极的下表面与集电极金属层相连,其特征在于:所述基极金属层与P型浓基区汇流条的上表面相连接;所述P型浓基区的上面与发射区连接。
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