[发明专利]具有双圆柱增敏结构的MEMS矢量水听器有效
| 申请号： | 201710205324.2 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN106768263B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 郭世旭;郝振宇;赵鹏;王月兵 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01H3/00 | 分类号： | G01H3/00;G01H11/08 |
| 代理公司： | 杭州奥创知识产权代理有限公司 33272 | 代理人： | 王佳健 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具有双圆柱增敏结构的MEMS矢量水听器。本发明在金属屏蔽壳与聚氨酯外套中间夹有密封圈，金属屏蔽壳里面放置前置放大器，聚氨酯外套内设置敏感单元，敏感单元矢量方向位置按照设定的角度摆放并在外部进行标记，敏感单元贴在双圆柱增敏结构的内壁上，通过屏蔽导线与前置放大器进行电气连接，屏蔽导线穿过导线连接孔，导线连接孔旁边为出油孔，双圆柱增敏结构设置在聚氨酯外套的底座上，聚氨酯外套与双圆柱增敏结构中间充满脱气蓖麻油。本发明运用双圆柱结构来提高矢量水听器的灵敏度，并针对水下应用环境，提出了敏感单元与前置放大电路一体化封装的结构与工艺，并且设计串联式的镜像电桥前置放大电路结构，提高了信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 圆柱 结构 mems 矢量 水听器 | ||
【主权项】：
具有双圆柱增敏结构的MEMS矢量水听器，包括聚氨酯外套、金属屏蔽壳，在金属屏蔽壳与聚氨酯外套中间夹有密封圈，金属屏蔽壳里面放置前置放大器，聚氨酯外套内设置敏感单元，敏感单元矢量方向位置按照设定的角度摆放并在外部进行标记，敏感单元贴在双圆柱增敏结构的内壁上，通过屏蔽导线与前置放大器进行电气连接，屏蔽导线穿过导线连接孔，导线连接孔旁边为出油孔，双圆柱增敏结构设置在聚氨酯外套的底座上，聚氨酯外套与双圆柱增敏结构中间充满脱气蓖麻油。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国计量大学，未经中国计量大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710205324.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种多用勺
- 下一篇：基于焦域轴向最大振速的聚焦超声功率测量系统及方法
