[发明专利]具有双圆柱增敏结构的MEMS矢量水听器

权利要求书

1.具有双圆柱增敏结构的MEMS矢量水听器，包括聚氨酯外套、金属屏蔽壳，在金属屏蔽壳与聚氨酯外套中间夹有密封圈，金属屏蔽壳里面放置前置放大器，聚氨酯外套内设置敏感单元，敏感单元矢量方向位置按照设定的角度摆放并在外部进行标记，敏感单元贴在双圆柱增敏结构的内壁上，通过屏蔽导线与前置放大器进行电气连接，屏蔽导线穿过导线连接孔，导线连接孔旁边为出油孔，双圆柱增敏结构设置在聚氨酯外套的底座上，聚氨酯外套与双圆柱增敏结构中间充满脱气蓖麻油；

所述的敏感单元采用两根平行设置的铂丝，两根铂丝上的温度差用于振速的测量，两根铂丝通过MEMS加工工艺刻蚀完成；

所述的双圆柱增敏结构是能够增加透过双圆柱中间的声波流速，在声波入射方向，增加敏感单元附近质点振动速度的结构。

2.根据权利要求1所述的MEMS矢量水听器，其特征在于：所述的前置放大器是根据镜像电流源电路的特性设计而成，实现对两个铂丝加载相同电流的同时，检测两铂丝的阻值差。