[发明专利]制造警报探测系统的方法、制造压力传感器的方法以及压力传感器有效
| 申请号： | 201710204897.3 | 申请日： | 2014-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN106995205B | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | P.D.史密斯;P.伦尼 | 申请（专利权）人： | 基德科技公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;G01L9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王洪斌;陈岚 |
| 地址： | 美国北卡*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种制造过热或火警探测系统的方法，包括以下步骤：微机械加工压力传感器10，以及紧固传感器管(20，图2)使之与所述压力传感器10流体连通。所述传感器管可包括含有在加热时释出气体的材料的中空管(24，图2)。所述微机械加工步骤可包括掺杂第一层12的至少一部分13、至少部分地在所述经掺杂部分13内形成空腔19，以及在所述空腔上形成可变形隔膜14。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 压力传感器 方法 | ||
【主权项】：
1.一种气动式压力传感器，包括：第一层，其在第一表面中具有多个空腔；以及可变形隔膜，其具有：第一表面，其面向且覆盖所述空腔；以及第二表面，其背对所述第一层且具有多个凹部，其中每一凹部至少部分地与所述空腔中的一者对准且至少第一凹部具有大于第二凹部的深度;其中所述第一层包括具有多个经掺杂部分的半导体晶片，且所述空腔中的每一者至少部分地在所述经掺杂部分中的一者内;其中每一经掺杂部分提供可通过将所述隔膜的一部分移动到空腔中而闭合的电端子。
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