[发明专利]制造警报探测系统的方法、制造压力传感器的方法以及压力传感器

权利要求书

1.一种气动式压力传感器，包括：

第一层，其在第一表面中具有多个空腔；以及

可变形隔膜，其具有：

第一表面，其面向且覆盖所述空腔；以及

第二表面，其背对所述第一层且具有多个凹部，其中每一凹部至少部分地与所述空腔中的一者对准且至少第一凹部具有大于第二凹部的深度;

其中所述第一层包括具有多个经掺杂部分的半导体晶片，且所述空腔中的每一者至少部分地在所述经掺杂部分中的一者内;

其中每一经掺杂部分提供可通过将所述隔膜的一部分移动到空腔中而闭合的电端子。

2.根据权利要求1所述的气动式压力传感器，其中所述第一层和所述隔膜均具有100 µm或更小的厚度。

3.一种制造根据权利要求1到2中任一权利要求所述的气动式压力传感器的方法，包括以下步骤：

微机械加工在第一表面中具有多个空腔的第一层；以及

微机械加工可变形隔膜，所述可变形隔膜覆盖所述空腔且在所述隔膜的背对所述第一层的第二表面中具有深度不同的多个凹部。

4.一种制造过热或火灾警报探测系统的方法，包括：

根据权利要求3所述的方法制造气动式压力传感器；以及

连接传感器管使之与多个凹部流体连通。