[发明专利]电容式麦克风及其制作方法在审
| 申请号： | 201710204043.5 | 申请日： | 2017-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN106937230A | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 蔡孟錦;林育菁;周宗燐;邱冠勳;詹竣凱 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 王昭智,马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式麦克风及其制作方法。该麦克风包括衬底、背极和振膜，衬底具有背腔，背极和振膜被悬置在背腔的上方，振膜和背极构成电容器的上电极和下电极，振膜由非结晶金属合金制作而成，振膜与背极之间具有振动间隙，背极具有连通振动间隙和外部空间的通孔，背腔与振动间隙相对设置。该电容式麦克风的振膜由非结晶金属合金材料制作而成，该材料具有良好的断裂韧性及弹性极限，使得振膜在吹气或者喷气时能够承受更高的气压，避免了振膜的破损，提高了电容式麦克风的良品率。此外，有较低的弹性系数，可使振膜变形较大，获得更佳的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 麦克风 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种电容式麦克风，其特征在于，包括衬底(11)、背极(13)和振膜(15)，所述衬底(11)具有背腔(22)，所述背极(13)和所述振膜(15)被悬置在所述背腔(22)的上方，所述振膜(15)和所述背极(13)构成电容器的上电极和下电极，所述振膜(15)由非结晶金属合金制作而成，所述振膜(15)与所述背极(13)之间具有振动间隙(25)，所述背极(13)具有连通所述振动间隙(25)和外部空间的通孔(20)，所述背腔(22)与所述振动间隙(25)相对设置。
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