[发明专利]探针卡检测方法及系统

摘要

本发明提供一种探针卡检测方法及系统，提供自动化全区检测探针卡偏移针、缺针、针点氧化、磨耗、损坏及融断等。其主要包括一线性扫瞄镜头模块、一CCD显微镜头模块、一CCD影像调针模块及一计算机装置，通过计算机装置控制，由CCD显微镜头模块来调整及确认待测探针卡的扫瞄光学焦距，再对该待测探针卡全区扫瞄，并与一预设的坐标档比对，以检测出不良针，再载送到CCD影像调针模块调校及处理，并在计算机装置上显示及操作。

主权项

1.一种探针卡检测系统，其特征在于，供检测一探针卡，包括：一XY轴移动载台，该XY轴移动载台以二维坐标系统的X轴与Y轴移动，该XY轴移动载台供放置待测探针卡；一线性扫瞄镜头模块，该线性扫瞄镜头模块在该XY轴移动载台动作路径的上方，并可以在三维坐标系统的Z轴移动，该线性扫瞄镜头模块供取得探针卡全区块的影像数据；一CCD显微镜头模块，该CCD显微镜头模块设在XY轴移动载台动作路径的上方，并可以在三维坐标系统的Z轴移动；一CCD影像调针模块，该CCD影像调针模块设在XY轴移动载台动作路径的上方，并可以在三维坐标系统的Z轴移动；一计算机装置，该计算机装置包括一运算模块、一输出入模块及一数据库，该数据库供储存数据并供储放一探针卡坐标文件，该输出入模块供输入指令及输出图文信息，该运算模块用于处理运算输出入的各项信息；通过计算机装置控制该XY轴移动载台移动该待测探针卡，由该CCD显微镜头模块来调整并确认线性扫瞄镜头模块对该待测探针卡的扫瞄光学焦距，再利用线性扫瞄镜头模块扫瞄该待测探针卡全区数据，该全区数据并与坐标文件数据比对，以检测不良针，而在CCD显微镜头模块处理针点质量问题，或通过XY轴移动载台将待测探针卡移送到CCD影像调针模块的位置来调校及处理偏移针，并在输出入模块上显示及操作。