[发明专利]探针卡检测方法及系统

权利要求书

1.一种探针卡检测系统，其特征在于，供检测一探针卡，包括：

一XY轴移动载台，该XY轴移动载台以二维坐标系统的X轴与Y轴移动，该XY轴移动载台供放置待测探针卡；

一线性扫瞄镜头模块，该线性扫瞄镜头模块在该XY轴移动载台动作路径的上方，并可以在三维坐标系统的Z轴移动，该线性扫瞄镜头模块供取得探针卡全区块的影像数据；

一CCD显微镜头模块，该CCD显微镜头模块设在XY轴移动载台动作路径的上方，并可以在三维坐标系统的Z轴移动；

一CCD影像调针模块，该CCD影像调针模块设在XY轴移动载台动作路径的上方，并可以在三维坐标系统的Z轴移动；

一计算机装置，该计算机装置包括一运算模块、一输出入模块及一数据库，该数据库供储存数据并供储放一探针卡坐标文件，该输出入模块供输入指令及输出图文信息，该运算模块用于处理运算输出入的各项信息；

通过计算机装置控制该XY轴移动载台移动该待测探针卡，由该CCD显微镜头模块来调整并确认线性扫瞄镜头模块对该待测探针卡的扫瞄光学焦距，再利用线性扫瞄镜头模块扫瞄该待测探针卡全区数据，该全区数据并与坐标文件数据比对，以检测不良针，而在CCD显微镜头模块处理针点质量问题，或通过XY轴移动载台将待测探针卡移送到CCD影像调针模块的位置来调校及处理偏移针，并在输出入模块上显示及操作。

2.如权利要求1所述的探针卡检测系统，其特征在于，该CCD影像调针模块，包括：

一中间镜头组，包括一中间CCD相机及一中间高倍率镜头；

一第一侧镜头组，包括一第一侧CCD相机及一第一侧高倍率镜头；

一第二侧镜头组，包括一第二侧CCD相机及一第二侧高倍率镜头；

该中间镜头组呈上下直立配置，该第一侧镜头组上下斜向地配置在中间镜头组的一侧，该第一侧高倍率镜头往中间高倍率镜头方向偏斜，该第二侧镜头组呈上下斜向地配置在中间镜头组的另一侧，该第二侧高倍率镜头往中间高倍率镜头方向偏斜，该中间镜头组、第一侧镜头组及第二侧镜头组的中心位置在对象为同一点。

3.如权利要求1所述的探针卡检测系统，其特征在于，该ＸＹ轴移动载台包括：

一X轴滑台机构，该X轴滑台机构具有一X轴滑台、两个平行的X轴导轨、一X轴螺杆及一伺服马达，该X轴滑台设有滑块，该滑块滑动地设在X轴导轨上，该X轴滑台设有一可受X轴螺杆驱动的驱动座，该X轴螺杆与伺服马达输出连接；

一Y轴滑台机构，该Y轴滑台机构具有一Y轴滑台、两个平行的Y轴导轨、一Y轴螺杆及一伺服马达，该Y轴滑台设有滑块，该滑块滑动地设在Y轴导轨上，该Y轴滑台设有一可受Y轴螺杆驱动的驱动座，该Y轴螺杆与伺服马达输出连接，该Y轴导轨固定在X轴滑台上。

4.如权利要求1所述的探针卡检测系统，其特征在于，还包括一第一Z轴移动模块及一第二Z轴移动模块，该第一Z轴移动模块包括一支架、一螺杆、一伺服马达、一驱动座、一滑轨及一滑块，该滑块滑动地设在滑轨上，该驱动座设于螺杆上并受螺杆带动而直线移动，该螺杆与该伺服马达输出连接，该伺服马达及滑轨则固定在支架上，而线性扫瞄镜头模块固定在滑块及驱动座上；该第二Z轴移动模块包括一支架、一螺杆、一伺服马达、一驱动座、一滑轨及一滑块，该滑块滑动地设在滑轨上，该驱动座设于螺杆上并受螺杆带动而直线移动，该螺杆与该伺服马达输出连接，该伺服马达及滑轨则固定在支架上，而CCD影像调针模块则固定在滑块及驱动座上。

5.如权利要求4所述的探针卡检测系统，其特征在于，该CCD显微镜头模块与该线性扫瞄镜头模块固定在一起，以形成同步运动。

6.如权利要求5所述的探针卡检测系统，其特征在于，该CCD显微镜头模块与该线性扫瞄镜头模块对探针卡焦距的水平设定相同。

7.如权利要求1所述的探针卡检测系统，其特征在于，还包括一XY轴光学尺，该XY轴光学尺提供待侧探针卡的位置数据给计算机装置，供线性扫瞄镜头模块扫瞄取像。

8.如权利要求1所述的探针卡检测系统，其特征在于，该输出入模块为触控式液晶屏幕。