[发明专利]阶梯电流阻挡层垂直型功率器件有效
| 申请号： | 201710198227.5 | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN107154435B | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 毛维;石朋毫;边照科;郝跃;马晓华;李康;谢涌 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/06 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 王品华 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种阶梯电流阻挡层垂直型功率器件，主要解决现有同类器击穿电压低与导通电阻大的问题，其包括：衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、左右两个对称的多级阶梯结构电流阻挡层(4)、沟道层(6)和势垒层(7)，沟道层(6)和势垒层(7)的两侧刻蚀有源槽(10)，两侧源槽(10)中淀积有两个源极(11)，源极(11)之间的势垒层上外延有p型帽层(8)，p型帽层(8)两侧刻有台阶(9)，p型帽层(8)上面淀积有栅极(12)，衬底(1)下面淀积有漏极(13)，两个对称的电流阻挡层(4)之间形成孔径(5)。本发明击穿电压高、工艺简单、导通电阻小、成品率高，可用于电力电子系统。 | ||
| 搜索关键词： | 阶梯 电流 阻挡 垂直 功率 器件 | ||
【主权项】：
1.一种阶梯电流阻挡层垂直型功率器件，包括:衬底(1)、漂移层(2)、孔径层(3)、两个对称的电流阻挡层(4)、沟道层(6)和势垒层(7)，沟道层(6)和势垒层(7)的两侧刻蚀有源槽(10)，两侧源槽(10)中淀积有两个源极(11)，源极(11)之间的势垒层上外延有p型帽层(8)，p型帽层(8)两侧刻有两个台阶(9)，p型帽层(8)上面淀积有栅极(12)，衬底(1)下面淀积有漏极(13)，两个对称的电流阻挡层(4)之间形成孔径(5)，其特征在于：所述两个对称的电流阻挡层(4)，是由自孔径层(3)两侧向内的第一阻挡层(41)、第二阻挡层(42)、第三阻挡层(43)至第m阻挡层(4m)共同构成的两个对称的m级阶梯结构，其中第一阻挡层(41)位于孔径层(3)内的最外两侧。
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