[发明专利]一种高致密金刚石薄膜的制备方法

摘要

本发明提供了一种高致密金刚石薄膜的制备方法，包括：对硬质合金基体，进行表面电荷化处理，使其带正电或负电；向水中加入有机酸或含胺基化合物，并加入金刚石原粉分散均匀得到纳米金刚石悬浊液；将基体置于与其表面电性相反的纳米金刚石的悬浊液中进行超声震荡，使所述纳米金刚石吸附在所述基体表面；最后采用化学气相沉积设备在上述处理后的基体上生长得到高致密金刚石薄膜。该方法解决了现有技术中纳米金刚石形核密度低、金刚石薄膜致密性差的问题，操作简单，适合规模化生产。

主权项

1.一种高致密金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)取硬质合金基体，将其表面进行表面电荷化处理，所述表面电荷化处理包括正电化或负电化处理；(2)配制金刚石悬浊液：向水中加入有机酸或含胺基化合物，得到预处理液；并将金刚石原粉加入到所述预处理液中，均匀分散，得到纳米金刚石悬浊液；其中，有机酸包括草酸和柠檬酸中的一种或多种，所述含胺基化合物选自谷氨酸和天冬氨酸，以及碳原子数为2‑5的脂肪胺中的一种或多种；(3)将所述表面电荷化处理后的基体置于所述纳米金刚石悬浊液中进行超声震荡，使所述纳米金刚石吸附在所述基体表面，其中，所述纳米金刚石悬浊液的电性与所述基体的电性相反；(4)采用化学气相沉积设备，在步骤(3)得到的基体上生长金刚石薄膜。