[发明专利]电压非线性电阻元件及其制法

摘要

本发明提供一种电压线性电阻元件及其制法，其在氧化锌区域与其它的金属氧化物区域相接的结构的电压非线性电阻元件中，与以往相比增大电压非线性指数。电压非线性电阻元件(10)具备电压非线性电阻体(简称为电阻体)(20)、以及将该电阻体(20)夹在中间的一对电极(14)、(16)。电阻体(20)是将以氧化锌为主要成分的第1层(21)、同样地以氧化锌为主要成分的第2层(22)、以及以不同于氧化锌的金属氧化物为主要成分的第3层(23)进行层叠而得到的结构。第2层(22)与第1层(21)相接，厚度比第1层(21)薄，体积电阻率高于第1层(21)。第3层(23)与第2层(22)相接。

主权项

一种电压非线性电阻元件，其具备：以氧化锌为主要成分的第1层，以氧化锌为主要成分的第2层，其与所述第1层相接，并且与所述第1层相比厚度薄且体积电阻率高，以及以不同于氧化锌的金属氧化物为主要成分的第3层，其相接于所述第2层的与所述第1层相接一侧的相反侧。