[发明专利]电压非线性电阻元件及其制法

权利要求书

1.一种电压非线性电阻元件，其具备：

以氧化锌为主要成分的第1层，

以氧化锌为主要成分的第2层，其与所述第1层相接，并且与所述第1层相比厚度薄且体积电阻率高，以及

以不同于氧化锌的金属氧化物为主要成分的第3层，其相接于所述第2层的与所述第1层相接一侧的相反侧，

所述第1层的体积电阻率为6.0×10^-4Ωcm以下，所述第2层的体积电阻率为2×10^-3Ωcm以下，

所述第3层由氧化铋、氧化锰和氧化钴构成。

2.根据权利要求1所述的电压非线性电阻元件，其中，所述第2层的厚度为0.2～300nm。

3.根据权利要求1或2所述的电压非线性电阻元件，其中，所述第1层含有选自由Al、Ga以及In组成的组中的至少1种金属元素的氧化物。

4.一种电压非线性电阻元件的制法，其为制造权利要求1～3中任一项所述的电压非线性电阻元件的方法，包含如下的工序：

(a)通过将氧化锌粉末的成形体在非氧化气氛下烧成而制作氧化锌陶瓷基板的工序，

(b)通过将所述氧化锌陶瓷基板在氧化气氛下烧成而使所述氧化锌陶瓷基板的表层变为与所述氧化锌陶瓷基板的内部相比体积电阻率高的层，从而分别将所述氧化锌陶瓷基板的内部以及表层制成所述第1层以及所述第2层的工序，以及

(c)在所述第2层的表面形成所述第3层的工序。

5.根据权利要求4所述的电压非线性电阻元件的制法，所述氧化锌粉末还包含选自由Al、Ga以及In组成的组中的至少1种金属元素的氧化物。

6.一种电压非线性电阻元件的制法，其为制造权利要求1～3中任一项所述的电压非线性电阻元件的方法，包含如下的工序：

(a)通过将氧化锌粉末的成形体在非氧化气氛下烧成而制作氧化锌陶瓷基板的工序，

(b)通过在所述氧化锌陶瓷基板的表面成膜以氧化锌为主要成分并且与所述氧化锌陶瓷基板相比厚度薄且体积电阻率高的氧化锌层，从而分别将所述氧化锌陶瓷基板以及氧化锌层制成所述第1层以及所述第2层的工序，以及

(c)在所述第2层的表面形成所述第3层的工序。

7.根据权利要求6所述的电压非线性电阻元件的制法，所述氧化锌粉末还包含选自由Al、Ga以及In组成的组中的至少1种金属元素的氧化物。