[发明专利]一种MEMS微型拉曼光谱仪

摘要

本发明公开了一种MEMS微型拉曼光谱仪，包括采样模块、控制显示模块、MEMS色散模块，本发明的各个模块的集成程度更高，更容易缩小设备体积，可以做成手持式光谱仪，而且本发明可以对激光照明系统与拉曼散射光的透镜共光路产生的杂散光进行严格的抑制，本发明采用嵌入式操作系统完成数据处理功能，可以实现手持式使用，完全脱离电脑而独立工作，本发明采用采用MEMS技术光栅与可动F‑P腔集成的色散，可以保证在较宽的自由光谱范围的同时，又能够获得较窄的半峰全宽，获得高的光谱分辨率。

主权项

一种MEMS微型拉曼光谱仪，其特征在于，包括采样模块、控制显示模块、MEMS色散模块；所述采样模块包括激光器、采样镜头/拉曼探头系统；所述控制显示模块包括数据库单元、嵌入式操作系统/网络连接单元、显示模块；所述MEMS色散模块包括色散模块、光电探测器单元；所述激光器发出的光经过采样镜头/拉曼探头系统，照射在样品上激发拉曼光谱，上述拉曼光谱经过采样镜头/拉曼探头系统收集、滤波后输送到色散模块，再通过色散模块色散后传输到光电探测器单元，得到新拉曼光谱，通过将新拉曼光谱与数据库单元的数据进行比对，在显示模块显示被测物的身份信息；通过所述控制显示模块实现对整机仪器的系统控制和数据交换与处理，数据库单元通过USB接口对外进行数据交换。