[发明专利]一种MEMS微型拉曼光谱仪

权利要求书

1.一种MEMS微型拉曼光谱仪，其特征在于，包括采样模块、控制显示模块、MEMS色散模块；

所述采样模块包括激光器、采样镜头/拉曼探头系统；

所述控制显示模块包括数据库单元、嵌入式操作系统/网络连接单元、显示模块；

所述MEMS色散模块包括色散模块、光电探测器单元；

所述激光器发出的光经过采样镜头/拉曼探头系统，照射在样品上激发拉曼光谱，上述拉曼光谱经过采样镜头/拉曼探头系统收集、滤波后输送到色散模块，再通过色散模块色散后传输到光电探测器单元，得到新拉曼光谱，通过将新拉曼光谱与数据库单元的数据进行比对，在显示模块显示被测物的身份信息；

通过所述控制显示模块实现对整机仪器的系统控制和数据交换与处理，数据库单元通过USB接口对外进行数据交换。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS微型拉曼光谱仪，其特征在于，所述激光器采用波长为785nm的窄带激光器作为照明光源，其带宽为0.2nm，光斑尺寸2mm×2mm，光强遵循平均分布。

3.根据权利要求1所述的一种MEMS微型拉曼光谱仪，其特征在于，所述采样镜头/拉曼探头系统包括透镜(O₁)、二向色镜(DSS)、陷波滤光片(NF)、会聚系统(O₂)，入射激光经过二向色镜反射(DSS)再经过透镜(O₁)聚焦在样品上，照射样品产生的散射光经透镜(O₁)收集，并经二向色镜(DSS)、陷波滤光片(NF)滤除其中的瑞丽散射光，得到的拉曼散射光再经过会聚系统(O₂)，聚焦到狭缝处。

4.根据权利要求3所述的一种MEMS微型拉曼光谱仪，其特征在于，所述狭缝宽度为0.05mm，长度为2mm。

5.根据权利要求1所述的一种MEMS微型拉曼光谱仪，其特征在于，根据杂散光聚焦大小和位置、出射方向、到达狭缝处能量大小，所述采样镜头/拉曼探头系统中设置有黑点板。

6.根据权利要求1所述的一种MEMS微型拉曼光谱仪，其特征在于，所述色散模块采用MEMS技术光栅与可动F-P腔集成的色散，狭缝处的拉曼散射光通过透镜准直后入射平而光栅，经光栅色散后的-1级衍射光再通过F-P腔进行滤波，F-P腔后设置聚焦透镜，使波长满足条件的光波在CCD形成光谱条纹。