[发明专利]多柱装置和多柱式带电粒子束曝光装置在审
| 申请号： | 201710159377.5 | 申请日： | 2017-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN107359102A | 公开（公告）日： | 2017-11-17 |
| 发明（设计）人： | 黑川正树;佐藤高雅;小岛信一;山田章夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱德万测试 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 李辉,黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供多柱装置和多柱式带电粒子束曝光装置，其中，每个柱的带电粒子束的特性的差异较小。在具有多个产生带电粒子束的柱部(122)的多柱式带电粒子束曝光装置中，柱部(122)具有磁轭(53)，其由磁性体构成，绕柱的光轴产生规定的强度分布的磁场；和线圈部(52)，其卷绕于该磁轭(53)。该线圈部(52)由分割出的多个绕组(52a、52b)构成，且分别被不同的电源(A1～A3)驱动。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 多柱式 带电 粒子束 曝光 | ||
【主权项】：
一种多柱装置，所述多柱装置具有多个产生带电粒子束的柱部，其特征在于，所述多柱装置具备：电磁元件，其设置于各个所述柱部；线圈部，其具有分割出的多个绕组，所述绕组对所述电磁元件进行励磁；以及配线，其将不同的电流源电路分别与属于一个所述线圈部的分割出的绕组连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社爱德万测试，未经株式会社爱德万测试许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710159377.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：芯片电阻器及其制造方法
- 下一篇：芯片接合机以及接合方法
