[发明专利]用于确定气体浓度的设备

摘要

本申请案涉及一种用于确定气体浓度的设备。一种化学气相沉积或原子层沉积系统包含用于确定进入到其上的前驱气体的量的气体浓度传感器。所述气体浓度传感器可包含发射器和接收器以用于跨越腔室发射声学信号。在实施例中，所述发射器和接收器经设计以增加所发射信号同时减少所发射噪声，从而促进低压力和高温下所述气体浓度传感器的使用。

主权项

一种用于确定气体浓度的设备，其包括：声学单元，其界定腔室；发射器，其包括：第一换能器，其经配置以发射声学信号；第一阻尼器，其布置在所述声学单元与所述第一换能器之间；以及第一变换器，其布置在所述腔室与所述第一换能器之间，所述第一变换器利用金属材料耦合到所述第一换能器；以及接收器，其包括：第二换能器，其经配置以接收所述声学信号；第二阻尼器，其布置在所述声学单元与所述第二换能器之间；以及第二变换器，其布置在所述腔室与所述第二换能器之间，所述第二变换器利用所述金属材料耦合到所述第二换能器。