[发明专利]用于确定气体浓度的设备

权利要求书

1.一种用于确定气体浓度的设备，其包括：

声学单元，其界定腔室；

发射器，其包括：

第一换能器，其经配置以发射声学信号；

第一阻尼器，其布置在所述声学单元与所述第一换能器之间；以及

第一变换器，其布置在所述腔室与所述第一换能器之间，所述第一变换器利用金属材料耦合到所述第一换能器；以及

接收器，其包括：

第二换能器，其经配置以接收所述声学信号；

第二阻尼器，其布置在所述声学单元与所述第二换能器之间；以及

第二变换器，其布置在所述腔室与所述第二换能器之间，所述第二变换器利用所述金属材料耦合到所述第二换能器。

2.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括：

第一聚合层，其布置在所述第一变换器与所述腔室之间的界面处；

第二聚合层，其布置在所述第二变换器与所述腔室之间的界面处；

第一夹层，其布置在所述第一变换器与所述第一换能器之间的界面处；以及

第二夹层，其布置在所述第二变换器与所述第二换能器之间的所述界面处。

3.根据权利要求1所述的设备，其中所述金属材料为焊料。

4.根据权利要求1所述的设备，其中所述第一换能器包含压电元件，且所述第一换能器包含通过所述金属材料彼此耦合的压电元件的堆叠。

5.根据权利要求4所述的设备，其中所述第二换能器包括压电元件的第二堆叠，且其中压电元件的所述第二堆叠通过所述金属材料彼此耦合。

6.根据权利要求1所述的设备，其中所述前驱气体入口经配置以在化学气相沉积或原子层沉积系统的操作期间穿过所述设备投送前驱气体。

7.根据权利要求1所述的设备，其中所述设备经配置以承受至少150℃的操作温度。

8.根据权利要求1所述的设备，其中所述设备经配置以在小于100托的压力下，或更优选地小于20托的压力下操作。

9.一种用于确定气体浓度的设备，其包括：

声学单元，其界定腔室，所述腔室与邻近流路径成流体接触；

发射器，其包括：

第一换能器；

第一阻尼器，其布置在所述声学单元与所述第一换能器之间；

第一变换器，其布置在所述腔室与所述第一换能器之间；以及

第一聚合材料层，其布置在所述第一变换器与所述腔室之间的界面处；以及接收器，其包括：

第二换能器；

第二阻尼器，其布置在所述声学单元与所述第二换能器之间；

第二变换器，其布置在所述腔室与所述第二换能器之间；以及

第二所述聚合材料层，其布置在所述第二变换器与所述腔室之间的界面处。

10.一种用于确定气体浓度的设备，其包括：

声学单元，其由第一材料制成且界定腔室，所述声学单元包含：

第一平台，其经配置以接纳第一O形环；

第二平台，其经配置以接纳第二O形环；

第一垫片，其包括第二材料且邻近于所述第一平台而布置；

第二垫片，其包括第二材料且邻近于所述第二平台而布置；

第一侧，其具有第一外壳内的第一换能器，其中所述第一外壳在所述第一平台处耦合到所述声学单元；以及

第二侧，其具有第二外壳内的第二换能器，其中所述第二外壳在所述第二平台处耦合到所述声学单元。