[发明专利]一种立式多工位石英管清洗机及清洗方法有效
| 申请号： | 201710144321.2 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN106824929B | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 李广义 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/023 | 分类号： | B08B9/023;B08B9/032 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;张磊 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种立式多工位石英管清洗机，包括：清洗平台，转动设于本体内，清洗平台表面绕其中心贯通设有若干安装孔，安装孔内侧设有转盘，石英管固定在转盘上，受其带动进行自转，并在清洗平台带动下进行公转；一至若干外喷管，竖直设于本体内，并位于石英管外侧，沿外喷管侧壁设有多数个喷口，用于喷射清洗液或气体，以清洗或干燥石英管外壁；若干内喷管，与转盘一一对应，并由转盘下方穿过进入石英管内，沿内喷管侧壁及顶部也设有多数个喷口，用于喷射清洗液或气体，以清洗或干燥石英管内壁；并公开了一种相应的清洗方法；可一次性对多个石英管进行全面有效清洗，同时可实现对清洗后废液的分类回收，其结构简单、易实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立式 多工位 石英管 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种立式多工位石英管清洗机，其特征在于，包括：清洗平台，转动设于本体内，所述清洗平台表面绕其中心贯通设有若干安装孔，所述安装孔内侧设有转盘，所述石英管固定在转盘上，受其带动进行自转，并在清洗平台带动下进行公转；一至若干外喷管，竖直设于本体内，并位于石英管外侧，沿所述外喷管侧壁设有多数个喷口，用于喷射清洗液或气体，以清洗或干燥石英管外壁；若干内喷管，与转盘一一对应，并由转盘下方穿过进入石英管内，沿所述内喷管侧壁及顶部也设有多数个喷口，用于喷射清洗液或气体，以清洗或干燥石英管内壁。
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