[发明专利]一种立式多工位石英管清洗机及清洗方法

说明书

本发明公开了一种立式多工位石英管清洗机，包括：清洗平台，转动设于本体内，清洗平台表面绕其中心贯通设有若干安装孔，安装孔内侧设有转盘，石英管固定在转盘上，受其带动进行自转，并在清洗平台带动下进行公转；一至若干外喷管，竖直设于本体内，并位于石英管外侧，沿外喷管侧壁设有多数个喷口，用于喷射清洗液或气体，以清洗或干燥石英管外壁；若干内喷管，与转盘一一对应，并由转盘下方穿过进入石英管内，沿内喷管侧壁及顶部也设有多数个喷口，用于喷射清洗液或气体，以清洗或干燥石英管内壁；并公开了一种相应的清洗方法；可一次性对多个石英管进行全面有效清洗，同时可实现对清洗后废液的分类回收，其结构简单、易实现。

技术领域

本发明涉及半导体清洗设备技术领域，更具体地，涉及一种立式多工位石英管清洗机及使用该清洗机清洗石英管的清洗方法。

背景技术

石英管配合使用在扩散炉中，常用于半导体加工中对硅片进行高温扩散。

在进行高温扩散工艺时，是将硅片连同硅片托架一起放入石英管中进行工艺。为了使扩散更稳定，PN结分布更均匀，必须保证石英管内压力稳定和气密性良好。

通常，都是采用负压技术来检测石英管的气密性，只有当气密性符合要求时，方可进行工艺。

石英管在长期的扩散工艺中会产生结垢，而扩散工艺对石英管洁净度的要求非常严格，不允许石英管的管壁有其他金属杂质或离子存在。由于石英管表面的洁净度直接影响了硅片的良品率，因此，对石英管的定期清洗显得尤为重要。

中国发明专利申请CN101181711公开了一种自动立式石英管清洗机及其清洗工艺，石英管可以在一个柜内完成清洗工艺中的各道工序，但是其清洗能力不高，一次只能清洗一个石英管。

中国实用新型专利CN205289141U公开了一种石英管同轴传动卧式清洗机，其工件是在清洗槽内完成清洗过程，尽管每次清洗完后都会清洗工艺槽，但是清洗过程中也难免会造成交叉污染，而且不仅浪费水，清洗能力也不高。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种立式多工位石英管清洗机及清洗方法，可一次性对多个石英管进行全面有效清洗，同时可实现对清洗后废液的分类回收，其结构简单、易实现。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种立式多工位石英管清洗机，包括：

清洗平台，转动设于本体内，所述清洗平台表面绕其中心贯通设有若干安装孔，所述安装孔内侧设有转盘，所述石英管固定在转盘上，受其带动进行自转，并在清洗平台带动下进行公转；

一至若干外喷管，竖直设于本体内，并位于石英管外侧，沿所述外喷管侧壁设有多数个喷口，用于喷射清洗液或气体，以清洗或干燥石英管外壁；

若干内喷管，与转盘一一对应，并由转盘下方穿过进入石英管内，沿所述内喷管侧壁及顶部也设有多数个喷口，用于喷射清洗液或气体，以清洗或干燥石英管内壁。

优选地，所述外喷管竖直固定于本体内壁，所述内喷管活动设于本体内，并受驱动在石英管内进行上下移动，所述内、外喷管分别通过阀门连接至不同的清洗液管路或气体管路。

优选地，所述清洗平台支承于环形导轨上，并受电机驱动进行旋转。

优选地，所述清洗平台通过对应设于转盘下方的中空滑块支承于环形导轨上，所述转盘与中空滑块之间通过轴承副进行转动连接，所述内喷管依次穿过中空滑块、轴承副及转盘进入石英管内，并受驱动在石英管内进行上下移动。

优选地，所述清洗平台表面贯通设有多数个网孔，不同状态的清洗废液经网孔汇入清洗平台下方的对应排液管路，以进行分类回收及循环利用。