[发明专利]基于数值波前传播的高速广域自动聚焦技术

摘要

本发明涉及一种基于数值波前传播的高速广域自动聚焦技术，首先在焦平面附近拍摄一张样品图像，由于其不在焦平面，因此拍摄的样品图像模糊。在该平面两侧对称采集过焦和欠焦图像。将所采集图像带入基于Gerchberg‑Saxton算法的强度传输方程(GS‑TIE)中从而求解中间位置处的相位分布。结合中间位置处采集的强度信息，样品在中间位置处的波前分布即可获知。将此波前信息沿z轴传播，获得各个位置处的波前分布。利用Tamura系数对各个位置处的波前信息进行评定，从而确定样品真实焦平面的位置。利用电动平移台自动将所测样品移至焦平面位置并验证该位置是否为焦平面位置。

主权项

基于数值波前传播的高速广域自动聚焦技术，其特征在于，包括如下步骤：焦平面位置附近任意采集一张图片；上下对称位置处各采集一张图片；计算中间位置处波前分布；将波前左右传播；Tamura系数评价；数值确定在焦平面位置；样品台移至数值确定在焦平面；验证数值确定的在焦位置是否为在焦位置。