[发明专利]基于数值波前传播的高速广域自动聚焦技术

权利要求书

1.基于数值波前传播的高速广域自动聚焦技术，其特征在于，包括如下步骤：

焦平面位置附近任意采集一张图片；

上下对称位置处各采集一张图片；

计算中间位置处波前分布；

将波前左右传播；

Tamura系数评价；

数值确定在焦平面位置；

样品台移至数值确定在焦平面；

验证数值确定的在焦位置是否为在焦位置。

2.如权利要求1中所述，其特征在于，在焦平面位置附近任意采集一张图片，由于该位置不是真实在焦位置，所采集的图片是模糊的。

3.如权利要求1中所述，其特征在于，在权利要求2中所述位置上下对称位置处各采集一张图片，所采集到的图片同样是模糊的。

4.如权利要求1中所述，其特征在于，计算中间位置处波前分布，首先利用GS-TIE方程进行相位求解，然后结合中间位置处光强信息得到其波前分布。

5.如权利要求1中所述，其特征在于，将计算得到的数值波前分布沿轴方向左右传播得到各个位置处的波前信息，从而可以获得各个位置处的强度信息。

6.如权利要求1中所述，其特征在于，利用Tamura系数对数值传播得到的各个位置处的强度信息进行评价。

7.如权利要求1中所述，其特征在于，根据Tamura系数评价曲线，我们认为其最大值位置即为真实在焦平面位置。

8.如权利要求1中所述，其特征在于，样品台移动到数值计算确定的在焦平面位置，验证此处是否为在焦位置。

9.如权利要求1中所述，其特征在于，验证方法为：在该数值计算确定的在焦平面位置重复以上步骤，若此次Tamura系数曲线最大值位于所传距离为0处，该位置为在焦平面位置；否则该位置不是在焦平面位置，需要进行下一个环路处理。