[发明专利]基于X射线衍射仪的腐蚀产物逐层面分析装置及方法

摘要

基于X射线衍射仪的腐蚀产物逐层面分析装置及方法，该装置包括一个矩形样品台和电动机，电动机驱动丝杠，带动样品台沿着纵向往复台上下滑动；纵向往复台与另一丝杠连接，并在另一个电动机驱动下可以沿着横向往复台左右滑动，横向往复台固定于现有X射线衍射仪样品架上，两台电动机启停由X射线衍射仪控制器控制。操作方法是通过丝杠调节样品位置，按照X射线衍射仪测定物相常规方法，对固定在样品台上样品表面所有位置逐一检测，然后去除样品表面一层材料后，再按照上述方法，对第一次检测过的位置再次检测，重复以上过程若干次，最后分析所有测试点处物相种类及含量，并绘图，即可比较精确和直观获得不同深度腐蚀层面上腐蚀产物种类和含量信息。

主权项

1.基于X射线衍射仪的腐蚀产物逐层面分析装置，有一个样品台（100），其特征在于：样品台（100）底部有纵向燕尾导轨（102）和第一螺母座（101），样品台（100）与往复台（200）通过纵向燕尾导轨（102）和往复台（200）上的纵向燕尾槽（201）间隙配合连接，往复台（200）上固定有纵向驱动电动机（300），纵向驱动电动机（300）输出轴与第一锥齿轮（301）固定连接，第一锥齿轮（301）与第二锥齿轮（302）啮合，第二锥齿轮（302）与纵向滚珠丝杠（303）固定连接，纵向滚珠丝杠（303）与样品台（100）底部的第一螺母座（101）间隙配合连接，纵向驱动电动机（300）能够带动样品台（100）沿着往复台（200）上下滑动；往复台（200）通过其底部横向燕尾导轨（202）与底座（400）上的横向燕尾槽（401）间隙配合连接，底座（400）上固定有横向驱动电动机（500），该电动机输出轴与横向滚珠丝杠（501）固定连接，横向滚珠丝杠（501）穿过底座（400）底部的轴承（402），与往复台（200）底部的第二螺母座（203）间隙配合连接，横向驱动电动机（500）驱动往复台（200）沿着横向燕尾槽（401）左右滑动。