[发明专利]平面研磨装置及游星轮

摘要

本发明提供一种平面研磨装置及游星轮，即使在游星轮为不具有光透过性的游星轮的情况下，也能够通过激光来测定该游星轮的厚度，并省去在测定上述游星轮的厚度时将该游星轮从研磨装置拆下的劳力和时间，由此容易进行工件的厚度与游星轮的厚度之间的间隔管理，而削减其作业工时。对保持在游星轮(30)上的工件(40)进行研磨的平面研磨装置(1)具有测定该工件及游星轮的厚度的厚度测定装置(X)，上述厚度测定装置构成为朝向上述工件及上述游星轮照射激光并根据来自表背面的反射光来测定厚度，上述游星轮具有：主体部(31)，其具有用于保持上述工件的工件保持孔(32)；和厚度测定部(Y)，其具有测定孔(34)及嵌入在该测定孔中的透光部件(35)。

主权项

一种平面研磨装置，具有旋转自如地配置的上定盘及下定盘、和用于保持工件的游星轮，通过所述上定盘和下定盘来夹持该游星轮上所保持的所述工件并对该工件的两面进行研磨，所述平面研磨装置的特征在于，所述平面研磨装置具有用于测定所述工件及游星轮的厚度的厚度测定装置，所述厚度测定装置构成为，朝向所述工件及游星轮照射激光，并根据来自该工件及游星轮的表面的反射光和来自背面的反射光来测定该工件及游星轮的厚度，所述游星轮具有：主体部，其具有用于保持所述工件的工件保持孔；和厚度测定部，其用于测定该游星轮的厚度，该厚度测定部具有形成在与所述工件保持孔不同的位置上的测定孔、和嵌入在该测定孔中的透光部件，该透光部件与所述主体部相比光透过性优异，另外，该透光部件的厚度与所述主体部的厚度相等，且该透光部件的表背面与所述主体部的表背面形成为共面。