[发明专利]用于以逐步方式调谐阻抗匹配网络的系统和方法有效
| 申请号： | 201710123938.6 | 申请日： | 2017-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN107154787B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 亚瑟·M·霍瓦尔德;约翰·C·小瓦尔考;安德鲁·方;大卫·霍普金 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H03H7/38 | 分类号： | H03H7/38 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;邱晓敏 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明描述了用于以逐步方式调谐阻抗匹配网络的系统和方法。通过以逐步方式调谐阻抗匹配网络，而不是直接实现射频(RF)和组合可变电容的最佳值，使用调谐的最佳值来处理晶片变得可行。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 逐步 方式 调谐 阻抗匹配 网络 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于以逐步方式调谐阻抗匹配网络的方法，包括：当射频(RF)发生器在第一参数值操作并且阻抗匹配网络具有第一可变可测量因子时，接收在所述RF发生器的输出和所述阻抗匹配网络的输入之间感测的第一测量输入参数值；初始化一个或多个模型以具有所述第一可变可测量因子和所述第一参数值，其中所述一个或多个模型包括所述阻抗匹配网络的匹配网络模型；当所述一个或多个模型具有所述第一可变可测量因子和所述第一参数值时，根据所述第一测量输入参数值使用所述一个或多个模型来计算第一输出参数值；使用所述第一输出参数值和所述一个或多个模型来计算使得所述一个或多个模型的输入处的反射系数为零的最佳参数值和最佳可变可测量因子；使用所述第一输出参数值和所述一个或多个模型来计算使得所述一个或多个模型的输入处的反射系数是最小的第一有利参数值；在所述第一有利参数值操作所述RF发生器；以及将所述阻抗匹配网络设置为具有第一步进可变可测量因子，其中所述第一步进可变可测量因子与所述第一可变可测量因子相比更接近所述最佳可变可测量因子，使得所述阻抗匹配网络以逐步方式被调谐。
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