[发明专利]用于以逐步方式调谐阻抗匹配网络的系统和方法

权利要求书

1.一种用于以逐步方式调谐阻抗匹配网络的方法，包括：

当射频发生器在第一参数值操作并且阻抗匹配网络具有第一可变可测量因子时，接收在所述射频发生器的输出和所述阻抗匹配网络的输入之间感测的第一测量输入参数值；

初始化一个或多个模型以具有所述第一可变可测量因子和所述第一参数值，其中所述一个或多个模型包括所述阻抗匹配网络的匹配网络模型；

当所述一个或多个模型具有所述第一可变可测量因子和所述第一参数值时，根据所述第一测量输入参数值使用所述一个或多个模型来计算第一输出参数值；

使用所述第一输出参数值和所述一个或多个模型来计算使得所述一个或多个模型的输入处的反射系数为零的最佳参数值和最佳可变可测量因子；

使用所述第一输出参数值和所述一个或多个模型来计算使得所述一个或多个模型的输入处的反射系数是最小的第一有利参数值；

在所述第一有利参数值操作所述射频发生器；以及

将所述阻抗匹配网络设置为具有第一步进可变可测量因子，其中所述第一步进可变可测量因子与所述第一可变可测量因子相比更接近所述最佳可变可测量因子，使得所述阻抗匹配网络以逐步方式被调谐。

2.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：

当所述射频发生器在所述第一有利参数值操作并且所述阻抗匹配网络被设置为具有所述第一步进可变可测量因子时，接收在所述射频发生器的输出与所述阻抗匹配网络的输入之间感测的第二测量输入参数值；

将所述一个或多个模型设置为具有所述第一步进可变可测量因子和所述第一有利参数值；

当所述一个或多个模型具有所述第一步进可变可测量因子和所述第一有利参数值时，根据所述第二测量输入参数值使用所述一个或多个模型来计算第二输出参数值；

使用所述第二输出参数值和所述一个或多个模型来计算使得所述一个或多个模型的所述输入处的所述反射系数是最小的第二有利参数值；

在所述第二有利参数值操作所述射频发生器；以及

将所述阻抗匹配网络设置为具有第二步进可变可测量因子。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述第二有利参数值是所述最佳参数值。

4.根据权利要求2所述的方法，其进一步包括：

当所述射频发生器在所述第二有利参数值操作并且所述阻抗匹配网络被设置为具有所述第二步进可变可测量因子时，接收在所述射频发生器的输出与所述阻抗匹配网络的输入之间感测的第三测量输入参数值；

将所述一个或多个模型设置为具有所述第二步进可变可测量因子和所述第二有利参数值；

根据所述第三测量输入参数值使用所述一个或多个模型来计算第三输出参数值；

使用所述第三输出参数值和所述一个或多个模型来计算使得所述一个或多个模型的所述输入处的所述反射系数是最小的第三有利参数值；以及

在所述第三有利参数值操作所述射频发生器。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述第三有利参数值是所述最佳参数值。

6.根据权利要求4所述的方法，其中所述第三有利参数值不同于所述最佳参数值。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一测量输入参数值由耦合到所述射频发生器的所述输出的传感器感测，其中所述第一测量输入参数值是阻抗或反射系数。

8.根据权利要求1所述的方法，其中通过经由所述一个或多个模型的电路元件正向传播所述第一测量输入参数值来计算所述第一输出参数值。

9.根据权利要求1所述的方法，其中通过经由所述一个或多个模型的电路元件反向传播所述第一输出参数值来计算所述最佳参数值和所述最佳可变可测量因子，以实现零反射系数。