[发明专利]一种干涉成像光学系统有效
| 申请号： | 201710123622.7 | 申请日： | 2017-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN106907987B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 姚东;沈宏海;杨名宇;许永森;李全超;张嬛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种干涉成像光学系统，包括第一透镜组、分光镜、第一反射镜、第二反射镜、第二透镜组和光电转换元件阵列；第一透镜组用于接收物光并形成目标物的像；像光进入分光镜，分光镜透射部分像光形成一路透射光，并反射部分像光形成另一路反射光；由分光镜透射出的光和反射出的光经两个反射镜后，重新进入分光镜，分光镜将两束光汇合并发生干涉，经过第二透镜组汇聚到光电转换元件阵列进行接收和记录；第一反射镜和第二反射镜的任意一个到分光镜的距离固定，另外一个可沿其光轴方向平行移动。本发明干涉成像光学系统，能够成像获得携带目标物形貌信息的干涉图像，通过后期的应用转换，能够为获得物体显微的二维形貌和光谱信息等提供数据基础。 | ||
| 搜索关键词： | 分光镜 反射镜 透镜组 干涉成像 光学系统 光电转换元件阵列 目标物 透射 反射 形貌 干涉图像 光谱信息 光轴方向 距离固定 平行移动 数据基础 形貌信息 反射光 接收物 透射光 二维 显微 成像 汇合 汇聚 干涉 携带 转换 记录 应用 | ||
【主权项】：
1.一种干涉成像光学系统，其特征在于，包括第一透镜组、分光镜、第一反射镜、第二反射镜、第二透镜组和光电转换元件阵列；所述第一透镜组用于接收物光并形成目标物的像；所述分光镜位于所述第一透镜组的像空间，所述分光镜透射部分像光形成一路透射光，并反射部分像光形成另一路反射光，透射光照射到所述第一反射镜，反射后返回到所述分光镜被反射出，另一路反射光照射到所述第二反射镜，反射后返回到所述分光镜被透射出；由所述分光镜反射出的光和透射出的光汇合发生干涉，所述第二透镜组将干涉光汇聚到所述光电转换元件阵列，由所述光电转换元件阵列对干涉光进行接收和记录；其中，所述第一反射镜和所述第二反射镜中的任意一个到所述分光镜的距离固定，另外一个可沿其光轴方向平行移动。
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