[发明专利]一种干涉成像光学系统

权利要求书

1.一种干涉成像光学系统，其特征在于，包括第一透镜组、分光镜、第一反射镜、第二反射镜、第二透镜组和光电转换元件阵列；

所述第一透镜组用于接收物光并形成目标物的像；

所述分光镜位于所述第一透镜组的像空间，所述分光镜透射部分像光形成一路透射光，并反射部分像光形成另一路反射光，透射光照射到所述第一反射镜，反射后返回到所述分光镜被反射出，另一路反射光照射到所述第二反射镜，反射后返回到所述分光镜被透射出；

由所述分光镜反射出的光和透射出的光汇合发生干涉，所述第二透镜组将干涉光汇聚到所述光电转换元件阵列，由所述光电转换元件阵列对干涉光进行接收和记录；

其中，所述第一反射镜和所述第二反射镜中的任意一个到所述分光镜的距离固定，另外一个可沿其光轴方向平行移动。

2.根据权利要求1所述的干涉成像光学系统，其特征在于，在所述第一透镜组的物方一侧设置有具有预设带通范围的滤光片，或者在分光镜的分光膜系前镜组中镀制具有预设带通范围的滤光膜系。

3.根据权利要求1所述的干涉成像光学系统，其特征在于，所述分光镜为分光棱镜；

所述分光镜朝向所述第一透镜组一面的通光孔径大于所述第一透镜组像方一侧的通光孔径；

所述分光镜朝向所述第二透镜组一面的通光孔径大于所述第二透镜组朝向所述分光镜一侧的通光孔径。

4.根据权利要求1所述的干涉成像光学系统，其特征在于，所述分光镜为分光棱镜，所述分光棱镜的第一表面垂直于所述第一透镜组的光轴方向，第二表面垂直于照射在所述第一反射镜的透射光的传播方向，第三表面垂直于照射在所述第二反射镜的反射光的传播方向，第四表面垂直于所述第二透镜组的光轴方向；

或者，所述分光镜为分光平片，所述分光平片以法线与所述第一透镜的光轴成45度设置。

5.根据权利要求1所述的干涉成像光学系统，其特征在于，可沿其所在光路方向移动的反射镜由直线驱动器连接，所述直线驱动器用于带动该反射镜沿其所在光路方向移动。

6.根据权利要求1-5任一项所述的干涉成像光学系统，其特征在于，到所述分光镜距离固定的反射镜的镜面面积大于由所述第一透镜组和所述分光镜组成的光学系统形成的出射光在该反射镜镜面上形成的投影面面积。

7.根据权利要求1-5任一项所述的干涉成像光学系统，其特征在于，所述光电转换元件阵列位于所述第二透镜组的像方焦平面上。

8.根据权利要求1-5任一项所述的干涉成像光学系统，其特征在于，所述光电转换元件阵列包括CCD元件阵列、CMOS元件阵列或者APD元件阵列。

9.根据权利要求1所述的干涉成像光学系统，其特征在于，所述第一反射镜到所述分光镜的距离固定，所述第二反射镜可沿其所在光路方向移动。

10.根据权利要求9所述的干涉成像光学系统，其特征在于，所述第一透镜组的后截距l满足以下关系式：

l≥a+d+w；

其中，a表示所述分光镜沿第一透镜组光轴方向的宽度，d表示可移动反射镜的移动行程，w表示所述干涉成像光学系统的机械装配空间w。