[发明专利]在状态转变期间使用射频值减小反射功率的系统和方法

摘要

本发明涉及在状态转变期间使用射频值减小反射功率的系统和方法。描述了用于针对每个状态转变以逐步方式调谐阻抗匹配网络的系统和方法。通过针对每个状态转变以逐步方式调谐阻抗匹配网络，而不是直接获得用于每个状态的组合可变电容的最优值，使用经调谐的最优值处理晶片变得可行。

主权项

1.一种用于通过使用射频值在状态转变期间减小反射功率的方法，其包括：在射频产生器的第一类型的状态转变期间，当所述射频产生器在第一多个射频值下操作并且阻抗匹配网络具有第一可变电容时，接收在所述射频产生器的输出端与所述阻抗匹配网络的输入端之间感测到的第一多个电压反射系数值；针对所述第一类型的状态转变，将一个或多个模型初始化为具有所述第一可变电容和所述第一多个射频值，其中所述一个或多个模型包括所述阻抗匹配网络的模型；当所述一个或多个模型具有所述第一可变电容和所述第一多个射频值时，根据所述第一多个电压反射系数值使用所述一个或多个模型，针对所述第一类型的状态转变，来计算第一多个负载阻抗值；使用所述第一多个负载阻抗值和所述一个或多个模型来计算第一多个有利的射频值，其中对于所述第一多个有利的射频值中的每一个，在所述一个或多个模型的输入端处的用于所述第一类型的状态转变的反射系数是最小的；在所述第一类型的状态转变期间控制所述射频产生器以在所述第一多个有利的射频值下操作。