[发明专利]在状态转变期间使用射频值减小反射功率的系统和方法

权利要求书

1.一种用于通过使用射频值在状态转变期间减小反射功率的方法，其包括：

在射频产生器的第一类型的状态转变期间，当所述射频产生器在第一多个射频值下操作并且阻抗匹配网络具有第一可变电容时，接收在所述射频产生器的输出端与所述阻抗匹配网络的输入端之间感测到的第一多个电压反射系数值；

针对所述第一类型的状态转变，将一个或多个模型初始化为具有所述第一可变电容和所述第一多个射频值，其中所述一个或多个模型包括所述阻抗匹配网络的模型；

当所述一个或多个模型具有所述第一可变电容和所述第一多个射频值时，根据所述第一多个电压反射系数值使用所述一个或多个模型，针对所述第一类型的状态转变，来计算第一多个负载阻抗值；

使用所述第一多个负载阻抗值和所述一个或多个模型来计算第一多个有利的射频值，其中对于所述第一多个有利的射频值中的每一个，在所述一个或多个模型的输入端处的用于所述第一类型的状态转变的反射系数是最小的；

在所述第一类型的状态转变期间控制所述射频产生器以在所述第一多个有利的射频值下操作。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述接收所述第一多个电压反射系数值、针对所述第一类型的状态转变将所述一个或多个模型初始化、计算所述第一多个负载阻抗值和计算所述第一多个有利的射频值是在所述第一类型的状态转变的第一次发生期间执行，其中所述控制所述射频产生器是在所述第一类型的状态转变的第二次发生期间执行。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述第二次发生在所述第一类型的状态转变的一个或多个中间发生之后跟随第一次发生。

4.根据权利要求2所述的方法，其中所述第二次发生紧随所述第一次发生，而在所述第一次发生和所述第二次发生之间没有发生所述第一类型的状态转变的任何发生。

5.根据权利要求1所述的方法，其还包括：

在所述射频产生器的第二类型的状态转变期间，当所述射频产生器在第二多个射频值下操作并且所述阻抗匹配网络具有所述第一可变电容时，接收在所述射频产生器的所述输出端与所述阻抗匹配网络的所述输入端之间感测到的第二多个电压反射系数值；

针对所述第二类型的状态转变，将所述一个或多个模型初始化为具有所述第一可变电容和所述第二多个射频值；

当所述一个或多个模型具有所述第一可变电容和所述第二多个射频值时，根据所述第二多个电压反射系数值使用所述一个或多个模型，针对所述第二类型的状态转变，来计算第二多个负载阻抗值；

使用所述第二多个负载阻抗值和所述一个或多个模型来计算第二多个有利的射频值，其中对于所述第二多个有利的射频值中的每一个，在所述一个或多个模型的所述输入端处的用于所述第二类型的状态转变的反射系数是最小的；

在所述第二类型的状态转变期间，控制所述射频产生器以在所述第二多个有利的射频值下操作。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述接收所述第二多个电压反射系数值、针对所述第二类型的状态转变将所述一个或多个模型初始化、计算所述第二多个负载阻抗值以及计算所述第二多个有利的射频值在所述第二类型的状态转变的第一次发生期间执行，其中在所述第二类型的状态转变期间，所述控制所述射频产生器在所述第二类型的状态转变的第二次发生期间执行。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述第二类型的状态转变的所述第二次发生在所述第二类型的状态转变的一个或多个中间发生之后跟随所述第二类型的状态转变的所述第一次发生。

8.根据权利要求6所述的方法，其中所述第二类型的状态转变的所述第二次发生紧随所述第二类型的状态转变的所述第一次发生，而在所述第二类型的状态转变的所述第一次发生和第二类型的状态转变的所述第二次发生之间没有发生所述第二类型的状态转变的任何发生。